基于双光栅尺的高速高精度跨尺度位移测量方法的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题来源及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究状况和进展 | 第10-14页 |
| ·光栅尺测量的发展状况 | 第10-12页 |
| ·光栅尺高速高精度测量的研究现状 | 第12-14页 |
| ·本文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 双光栅尺高速高精度测量的分析与设计 | 第16-35页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·光栅尺莫尔条纹位移测量原理 | 第16-20页 |
| ·光栅尺扫描测量原理 | 第17页 |
| ·莫尔条纹特征 | 第17-19页 |
| ·莫尔条纹信号感应器件 | 第19-20页 |
| ·莫尔条纹信号的输出 | 第20页 |
| ·双光栅尺高速高精度跨尺度测量方法的设计 | 第20-25页 |
| ·光栅尺测量允许速度与分辨力的关系 | 第20-21页 |
| ·双光栅尺高速高精度测量方法原理 | 第21-23页 |
| ·双光栅尺高速高精度测量的设计准则 | 第23-24页 |
| ·双光栅尺高速高精度测量的实现方法 | 第24-25页 |
| ·双光栅尺信号切换与合成误差分析 | 第25-34页 |
| ·双光栅尺信号切换基准的误差分析 | 第26-32页 |
| ·双光栅尺信号切换时延误差分析 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 双光栅尺信号的高精度切换基准设计 | 第35-41页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·双光栅尺信号高精度切换基准设计方法 | 第35-36页 |
| ·切换基准信号的拾取电路设计 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 双光栅尺信号的切换合成电路设计 | 第41-55页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·FPGA芯片的软件开发流程 | 第41-42页 |
| ·FPGA功能模块电路设计 | 第42-54页 |
| ·四倍频、辨向、计数模块 | 第43-47页 |
| ·速度判断模块 | 第47-49页 |
| ·双光栅尺计数脉冲切换模块 | 第49-50页 |
| ·双光栅尺计数值合成模块 | 第50-54页 |
| ·信号输出接口 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 实验研究 | 第55-65页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·双光栅尺信号处理电路校验实验 | 第55-59页 |
| ·双光栅尺信号切换时延误差校验实验 | 第56-58页 |
| ·双光栅尺信号切换合成值校验实验 | 第58-59页 |
| ·双光栅尺信号切换基准的精度实验 | 第59-60页 |
| ·双光栅尺跨尺度测量系统的精度实验 | 第60-62页 |
| ·双光栅尺跨尺度测量的应用实验 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第70-71页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第71页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第71页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
