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硫钝化GaP半导体表面性质的研究

1. 引言第1-12页
2. X光电子能谱分析第12-35页
 2.1 基本原理第12-17页
 2.2 实验样品第17-18页
 2.3 硫钝化实验和测量仪器第18-19页
 2.4 结果与讨论第19-35页
  2.4.1 GaP单晶片第19-24页
  2.4.2 GaP单外延片第24-29页
  2.4.3 GaP双外延片第29-35页
3. 表面形貌第35-41页
4. 光致发光第41-46页
 4.1 实验装置第41页
 4.2 实验结果第41-46页
5. 结语第46-47页
6. 附录第47-53页
 6.1 GaP外延片钝化前后各元素原子数的百分比第47-48页
 6.2 GaP钝化过程的微观结构图第48-50页
 6.3 光致荧光谱16个峰的拟合值第50-53页
7. 参考文献第53-57页
致谢第57页

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