小型光学非球面精密检测技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| ·研究背景 | 第12-13页 |
| ·国内外发展概况 | 第13-16页 |
| ·本课题的研究工作 | 第16-19页 |
| 第二章 光学非球面检测平台 | 第19-35页 |
| ·非球面方程 | 第19-20页 |
| ·轴对称非球面方程 | 第19-20页 |
| ·非轴对称非球面方程 | 第20页 |
| ·检测系统框架结构 | 第20-22页 |
| ·测量目标 | 第21页 |
| ·工作方式 | 第21-22页 |
| ·光学非球面面形检测原理 | 第22-26页 |
| ·接触式测量原理 | 第23-25页 |
| ·非接触式测量原理 | 第25-26页 |
| ·检测平台硬件结构 | 第26-31页 |
| ·检测平台控制方案 | 第27-28页 |
| ·主要部件的选型 | 第28-31页 |
| ·检测平台部件连接 | 第31-34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 第三章 光学非球面检测平台测量软件设计 | 第35-61页 |
| ·软件开发平台 | 第35-36页 |
| ·测量软件总体框架 | 第36-38页 |
| ·系统数据流分析 | 第36-37页 |
| ·软件总体框架 | 第37-38页 |
| ·软件初始化功能 | 第38-39页 |
| ·测量坐标系 | 第39-44页 |
| ·坐标系的定义 | 第39-40页 |
| ·坐标变换的数学模型 | 第40-43页 |
| ·坐标系建立及坐标变换 | 第43-44页 |
| ·测量数据采集功能 | 第44-46页 |
| ·运动控制功能设计 | 第46-49页 |
| ·手动操作 | 第46-47页 |
| ·双PID调节 | 第47-49页 |
| ·非球面检测平台检测模式 | 第49-52页 |
| ·点位探测模式 | 第49-51页 |
| ·连续扫描模式 | 第51-52页 |
| ·非球面测量路径规划 | 第52-60页 |
| ·测量路径的生成原则 | 第52页 |
| ·轴对称非球面测量路径规划 | 第52-57页 |
| ·非轴对称非球面测量路径规划 | 第57-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第四章 控制系统定位误差分析与补偿 | 第61-74页 |
| ·检测平台的定位精度 | 第61-62页 |
| ·运动控制系统的定位精度 | 第61-62页 |
| ·定位误差产生原因分析 | 第62页 |
| ·误差处理算法 | 第62-70页 |
| ·最小二乘法 | 第63-65页 |
| ·多项式拟合 | 第65-70页 |
| ·软件补偿实现 | 第70-73页 |
| ·误差数据处理 | 第70-71页 |
| ·补偿实验 | 第71-73页 |
| ·结论 | 第73-74页 |
| 第五章 测量系统误差分析 | 第74-91页 |
| ·测头误差 | 第74-79页 |
| ·测量数学模型引入误差 | 第74-78页 |
| ·测头精度引入的测头误差 | 第78-79页 |
| ·坐标系变化引入偏移与偏角误差 | 第79-82页 |
| ·偏移误差 | 第79-80页 |
| ·偏角误差 | 第80-82页 |
| ·测头偏离引入子午线截线误差 | 第82-87页 |
| ·偏心距对测量的影响 | 第82-84页 |
| ·轴对称非球面顶点确定 | 第84-85页 |
| ·非轴对称非球面顶点确定 | 第85-87页 |
| ·测量平台倾斜引入误差 | 第87-88页 |
| ·测杆受力变形引入误差 | 第88-90页 |
| ·小结 | 第90-91页 |
| 第六章 系统实验与结果分析 | 第91-99页 |
| ·系统精度标定 | 第91-94页 |
| ·标准球测量实验 | 第91-93页 |
| ·接触式与非接触式测量随机误差对比试验 | 第93-94页 |
| ·非球面工件测量实验 | 第94-98页 |
| ·轴对称非球面测量 | 第94-95页 |
| ·非轴对称非球面测量 | 第95-98页 |
| ·小结 | 第98-99页 |
| 第七章 结论与展望 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第104-105页 |
| 附录 | 第105-111页 |
