超精密气浮定位平台动力学特性优化研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1. 绪论 | 第9-23页 |
| ·课题来源与研究背景 | 第9-13页 |
| ·文献综述 | 第13-20页 |
| ·超精密气浮定位平台研究过程中存在的主要问题 | 第20页 |
| ·本文的研究特色及创新点 | 第20-21页 |
| ·本文的主要研究内容及组织结构 | 第21-23页 |
| 2. 超精密气浮定位平台动力学特性分析 | 第23-37页 |
| ·引言 | 第23-24页 |
| ·超精密气浮定位平台受力分析 | 第24-26页 |
| ·超精密气浮定位平台动力学模型 | 第26-29页 |
| ·超精密气浮定位平台动力学特性分析 | 第29-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 3. 超精密气浮定位平台气浮刚度数值优化研究 | 第37-53页 |
| ·引言 | 第37-38页 |
| ·气浮轴承的刚度波动 | 第38-39页 |
| ·灵敏度分析模型 | 第39-43页 |
| ·气浮支承刚度数值灵敏度分析 | 第43-46页 |
| ·刚度数值灵敏度计算流程 | 第46-47页 |
| ·超精密气浮定位平台气浮刚度数值灵敏度分析 | 第47-51页 |
| ·超精密气浮定位平台刚度数值优化 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 4. 静压气浮轴承空间位置优化 | 第53-69页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·空间分布优化模型 | 第53-59页 |
| ·模型分析 | 第59-60页 |
| ·静压气浮轴承安装位置优化流程 | 第60-62页 |
| ·静压气浮轴承空间位置优化结果及分析 | 第62-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 5. 超精密气浮定位平台结构动力学拓扑优化 | 第69-80页 |
| ·引言 | 第69-70页 |
| ·超精密定位平台拓扑优化参数的选择 | 第70-71页 |
| ·拓扑优化方法研究 | 第71-76页 |
| ·超精密气浮定位平台结构拓扑优化计算 | 第76-78页 |
| ·本章小结 | 第78-80页 |
| 6 超精密气浮定位平台动力学特性的实验研究 | 第80-89页 |
| ·引言 | 第80页 |
| ·实验设计及实施 | 第80-83页 |
| ·实验结果与分析 | 第83-87页 |
| ·本章小结 | 第87-89页 |
| 7. 全文总结与展望 | 第89-91页 |
| ·全文总结 | 第89页 |
| ·研究展望 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-100页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的学术论文目录 | 第100-101页 |
| 附录2 气浮刚度灵敏度计算数据 | 第101-108页 |
