表面三维微观形貌测量及其参数评定的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| ·引言 | 第10-13页 |
| ·课题研究的目的与意义 | 第13-14页 |
| ·表面三维形貌测量方法的比较 | 第14-15页 |
| ·相移干涉术的研究现状和发展趋势 | 第15-16页 |
| ·相位提取算法 | 第15-16页 |
| ·相位解包裹算法 | 第16页 |
| ·三维表面参数表征趋势 | 第16-17页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 三维表面微观形貌测量及评定的理论基础 | 第19-38页 |
| ·相移干涉术原理在测量表面三维形貌中的应用 | 第19-34页 |
| ·干涉显微镜 | 第19-21页 |
| ·相移干涉术的基本测量原理 | 第21-25页 |
| ·最佳采样方式 | 第25-28页 |
| ·移相方法 | 第28-30页 |
| ·表面轮廓相位计算 | 第30-33页 |
| ·影响测量误差的主要因素 | 第33-34页 |
| ·小波理论原理在三维表面评定中的应用 | 第34-36页 |
| ·三维表面评定技术发展综述 | 第34-35页 |
| ·小波滤波技术在三维表面功能评定中的应用 | 第35-36页 |
| ·参数表征理论基础 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 测量系统的原理及其设计 | 第38-57页 |
| ·测量系统的原理 | 第38-39页 |
| ·系统的测量过程 | 第39-40页 |
| ·采样 | 第39-40页 |
| ·形貌还原及基准面的建立 | 第40页 |
| ·参数评定 | 第40页 |
| ·微位移系统的研究设计 | 第40-48页 |
| ·微位移驱动器 | 第40-41页 |
| ·压电陶瓷误差分析 | 第41-42页 |
| ·压电陶瓷线性区域测试及选定 | 第42-47页 |
| ·微位移活动平台设计 | 第47-48页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的设计 | 第48-51页 |
| ·系统的整体设计 | 第51-53页 |
| ·CCD 摄像机与图像采集卡 | 第51-52页 |
| ·系统的整体实物设计 | 第52-53页 |
| ·系统软件设计 | 第53-56页 |
| ·图像采集软件设计 | 第53-54页 |
| ·图像数据处理软件设计 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 实验数据处理 | 第57-69页 |
| ·干涉图像处理 | 第57-64页 |
| ·频域处理方法 | 第57-60页 |
| ·空域处理方法 | 第60-64页 |
| ·三维形貌的还原及处理 | 第64-66页 |
| ·三维形貌的还原 | 第64-65页 |
| ·基准面的建立以及粗糙度的分离 | 第65-66页 |
| ·三维形貌的参数表征计算 | 第66-68页 |
| ·幅度参数 | 第66-67页 |
| ·综合参数 | 第67-68页 |
| ·其他参数 | 第68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第69-73页 |
| ·表面三维形貌计算结果及比较 | 第69-71页 |
| ·表面三维参数计算结果及比较 | 第71-72页 |
| ·实验结果的总结分析 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
