光刻机结构动力学建模与仿真
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题的来源、背景及意义 | 第9-10页 |
| ·光刻机及其工作台国内外发展现状 | 第10-13页 |
| ·虚拟样机仿真技术发展现状 | 第13-18页 |
| ·本文研究内容 | 第18-19页 |
| 2 光刻机多刚体动力学仿真模型建立 | 第19-45页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·光刻机整机系统结构 | 第19-20页 |
| ·光刻机关键子系统结构 | 第20-31页 |
| ·空气弹簧结构及其简化 | 第21-22页 |
| ·硅片台系统结构及其简化 | 第22-25页 |
| ·掩模台子系统结构及其简化 | 第25-26页 |
| ·直线电机结构及其简化 | 第26-30页 |
| ·其他部件结构及其简化 | 第30-31页 |
| ·子系统多刚体动力学分析 | 第31-38页 |
| ·掩模台长行程直线电机动力学分析 | 第32-35页 |
| ·硅片台动力学分析 | 第35-38页 |
| ·小结 | 第38页 |
| ·整机ADAMS 动力学仿真模型 | 第38-44页 |
| ·ADAMS 多体动力学基础 | 第39页 |
| ·整机ADAMS 仿真模型建立 | 第39-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 3 系统动力学参数识别与计算 | 第45-60页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·气浮支撑系统参数识别 | 第45-53页 |
| ·硅片台直线电机气浮系统参数 | 第45-50页 |
| ·掩模台直线电机气浮系统参数 | 第50-53页 |
| ·硅片台气足和掩模台气足参数 | 第53页 |
| ·结构件的动力学参数 | 第53-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 4 整机动力学特性分析 | 第60-67页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·ADAMS/Vibration 模块 | 第60页 |
| ·整机动力学固有特性分析 | 第60-65页 |
| ·硅片台、掩模台的主要模态 | 第61-62页 |
| ·内部世界其部件模态 | 第62-64页 |
| ·长行程直线电机系统主要模态 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 5 振动试验及结果分析 | 第67-79页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·试验方案与测试 | 第67-76页 |
| ·试验结果及分析 | 第76-78页 |
| ·硅片台、掩模台试验结果及分析 | 第76-77页 |
| ·内部世界其他部件试验结果及分析 | 第77页 |
| ·长行程直线电机试验结果分析 | 第77-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 6 总结与展望 | 第79-81页 |
| ·总结 | 第79页 |
| ·展望 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第85-86页 |
| 附录2 物理单位 | 第86-87页 |
| 附录3 整机仿真模型主要参数 | 第87-91页 |
