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共面介质阻挡放电应用于薄膜制备的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
引言第8-9页
1 共面放电电极的设计第9-24页
   ·文献综述第9-14页
     ·介质阻挡放电的研究背景第9-10页
     ·DBD介质阻挡放电的分类与特点第10-13页
     ·共面放电电极的原理第13-14页
   ·共面放电电极的设计第14-17页
     ·实例一第14-15页
     ·实例二第15-16页
     ·实例三第16-17页
   ·共面放电电极的放电特性第17-21页
     ·放电功率的测定第18-19页
     ·临界电压现象第19-20页
     ·共面放电的优点第20-21页
   ·共面放电发射光谱的研究第21-24页
     ·对谱图的分析第21-22页
     ·放电电压对峰高的影响第22-24页
2 共面放电在二氧化钛薄膜制备方面的初步研究第24-39页
   ·文献综述第24-27页
     ·二氧化钛的研究背景第24页
     ·二氧化钛光催化原理第24-26页
     ·二氧化钛的应用第26-27页
   ·实验部分第27-28页
     ·实验装置第27-28页
     ·实验过程第28页
   ·光催化活性评价方法第28-31页
   ·形貌及结构表征第31-35页
     ·扫描电子显微镜结果第31-34页
     ·傅立叶变换红外光谱结果第34页
     ·实验中存在的问题第34-35页
   ·以TiCl_4为前驱体沉积TiO_2薄膜简介第35-38页
     ·实验过程第35页
     ·薄膜表征第35-38页
   ·本章小结第38-39页
3 共面放电应用于碳氟膜的制备第39-56页
   ·文献综述第39-41页
     ·聚四氟乙烯(PTFE)的特性及应用第39-40页
     ·等离子体法制备碳氟膜的研究进展第40-41页
   ·实验部分第41-44页
     ·实验设备第41-42页
     ·实验中参数的优化第42-44页
   ·对薄膜的表征第44-54页
     ·原子力显微镜及扫描电子显微镜对形貌的表征第44-47页
     ·透射电子显微镜对形貌的表征第47-49页
     ·傅里叶变换红外光谱对结构的表征第49-50页
     ·X射线光电子能谱仪对表面结构的表征第50-53页
     ·接触角的测定第53-54页
   ·结果讨论第54-56页
     ·对薄膜结构的讨论第54-55页
     ·对薄膜亲水性的讨论第55-56页
结论第56-57页
参考文献第57-62页
附录 钛酸四异丙酯的物化性质以及饱和蒸汽压的与温度的关系第62-64页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第64-65页
致谢第65-66页

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