| 论文摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·前言 | 第11页 |
| ·薄膜太阳能电池的发展 | 第11-12页 |
| ·本论文研究的内容和目的 | 第12-14页 |
| ·本论文研究的内容 | 第13页 |
| ·本论文研究的目的 | 第13-14页 |
| 参考文献 | 第14-18页 |
| 第二章 薄膜生长方法、仪器与测试仪器 | 第18-30页 |
| ·薄膜生长方法和实验仪器 | 第18-22页 |
| ·磁控溅射镀膜法(Magnetron sputtering) | 第18页 |
| ·研究所采用的磁控溅射系统 | 第18-20页 |
| ·硒化装置 | 第20-21页 |
| ·化学水浴法(Chemical bath deposition:CBD) | 第21页 |
| ·化学水浴法装置 | 第21-22页 |
| ·测试分析仪器 | 第22-30页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第22-24页 |
| ·X-Ray衍射仪(XRD) | 第24页 |
| ·X-Ray光电子能谱(XPS) | 第24-25页 |
| ·UV-VIS分光光度计 | 第25-26页 |
| ·台阶仪 | 第26-27页 |
| ·Raman光谱测试仪 | 第27页 |
| ·四探针 | 第27-28页 |
| ·半导体导电类型判断测试装置 | 第28-30页 |
| 第三章 薄膜制备及结果讨论 | 第30-58页 |
| ·概述 | 第30-31页 |
| ·Mo底电极制备 | 第31-32页 |
| ·磁控溅射制备Mo电极 | 第31页 |
| ·Mo电极结果和讨论 | 第31-32页 |
| ·CuInSe_2光吸收层制备 | 第32-40页 |
| ·CuIn合金预置层的制备 | 第32-33页 |
| ·CuIn合金预置层测试结果和讨论 | 第33-34页 |
| ·CuIn合金预置层硒化制备CuInSe_2光吸收层 | 第34-40页 |
| ·小结 | 第40页 |
| ·化学水浴法(CBD)制备硫化镉薄膜(CdS) | 第40-47页 |
| ·概述 | 第40-41页 |
| ·制备 | 第41页 |
| ·结果和讨论 | 第41-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| ·低真空度下用射频磁控溅射方法制备ITO | 第47-55页 |
| ·概述 | 第47-48页 |
| ·射频磁控溅射方法制备ITO | 第48页 |
| ·结果与讨论 | 第48-53页 |
| ·小结 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 第四章 总结 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 附作者发表或已提交的文章、专利 | 第60页 |
