第1章 引言 | 第1-18页 |
·铁电薄膜的研究发展历史 | 第7-9页 |
·铁电薄膜的制备方法 | 第9-11页 |
·铁电薄膜的性质 | 第11-13页 |
·自发极化 | 第11页 |
·极化反转和电滞回线 | 第11-12页 |
·电畴 | 第12页 |
·介电常数 | 第12-13页 |
·介质损耗 | 第13页 |
·铁电薄膜的广泛应用 | 第13-14页 |
·本文研究的意义 | 第14-18页 |
·BT 基非铅系铁电薄膜及其应用 | 第14-16页 |
·BZT 薄膜研究的意义 | 第16页 |
·本文BZT 薄膜的研究方法和目的 | 第16-18页 |
第2章 BZT 薄膜的制备 | 第18-29页 |
·溶胶-凝胶法概述 | 第18-19页 |
·溶胶—凝胶法制备铁电薄膜的基本原理 | 第19-20页 |
·溶胶—凝胶法制备铁电薄膜的工艺过程 | 第20-22页 |
·前躯体溶液的原料选择 | 第20页 |
·金属醇盐溶液配制 | 第20-21页 |
·衬底表面液态膜涂覆 | 第21-22页 |
·溶胶—凝胶法(Sol—Gel)制备BZT 薄膜的流程 | 第22-26页 |
·基片的选取 | 第22-23页 |
·基片的切割与存放 | 第23页 |
·BZT薄膜先体溶液的配制 | 第23-25页 |
·甩胶、热处理 | 第25-26页 |
·小结 | 第26-29页 |
第3章 BZT 薄膜的结构和形貌分析 | 第29-38页 |
·热分析(DTA—TGA) | 第29-31页 |
·X 射线衍射分析(XRD) | 第31-34页 |
·原子力显微镜(AFM) | 第34-36页 |
·场发射电子扫描显微镜(FE—SEM) | 第36-37页 |
·小结 | 第37-38页 |
第4章 BZT 薄膜的光学性能研究 | 第38-48页 |
·引言 | 第38页 |
·BZT 薄膜的紫外、可见和近红外光区光学参数 | 第38-44页 |
·光学参数的计算方法 | 第38-40页 |
·BZT 铁电薄膜透射光谱的测量 | 第40-41页 |
·复折射率实部的计算 | 第41-42页 |
·薄膜厚度的计算 | 第42-43页 |
·薄膜透射光谱的计算 | 第43-44页 |
·结论 | 第44-48页 |
第5章 总结 | 第48-50页 |
参考文献 | 第50-53页 |
在读期间发表的论文 | 第53-54页 |
致谢 | 第54-55页 |
学位论文独创性声明 | 第55页 |