| 第1章 引言 | 第1-18页 |
| ·铁电薄膜的研究发展历史 | 第7-9页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第9-11页 |
| ·铁电薄膜的性质 | 第11-13页 |
| ·自发极化 | 第11页 |
| ·极化反转和电滞回线 | 第11-12页 |
| ·电畴 | 第12页 |
| ·介电常数 | 第12-13页 |
| ·介质损耗 | 第13页 |
| ·铁电薄膜的广泛应用 | 第13-14页 |
| ·本文研究的意义 | 第14-18页 |
| ·BT 基非铅系铁电薄膜及其应用 | 第14-16页 |
| ·BZT 薄膜研究的意义 | 第16页 |
| ·本文BZT 薄膜的研究方法和目的 | 第16-18页 |
| 第2章 BZT 薄膜的制备 | 第18-29页 |
| ·溶胶-凝胶法概述 | 第18-19页 |
| ·溶胶—凝胶法制备铁电薄膜的基本原理 | 第19-20页 |
| ·溶胶—凝胶法制备铁电薄膜的工艺过程 | 第20-22页 |
| ·前躯体溶液的原料选择 | 第20页 |
| ·金属醇盐溶液配制 | 第20-21页 |
| ·衬底表面液态膜涂覆 | 第21-22页 |
| ·溶胶—凝胶法(Sol—Gel)制备BZT 薄膜的流程 | 第22-26页 |
| ·基片的选取 | 第22-23页 |
| ·基片的切割与存放 | 第23页 |
| ·BZT薄膜先体溶液的配制 | 第23-25页 |
| ·甩胶、热处理 | 第25-26页 |
| ·小结 | 第26-29页 |
| 第3章 BZT 薄膜的结构和形貌分析 | 第29-38页 |
| ·热分析(DTA—TGA) | 第29-31页 |
| ·X 射线衍射分析(XRD) | 第31-34页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第34-36页 |
| ·场发射电子扫描显微镜(FE—SEM) | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 第4章 BZT 薄膜的光学性能研究 | 第38-48页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·BZT 薄膜的紫外、可见和近红外光区光学参数 | 第38-44页 |
| ·光学参数的计算方法 | 第38-40页 |
| ·BZT 铁电薄膜透射光谱的测量 | 第40-41页 |
| ·复折射率实部的计算 | 第41-42页 |
| ·薄膜厚度的计算 | 第42-43页 |
| ·薄膜透射光谱的计算 | 第43-44页 |
| ·结论 | 第44-48页 |
| 第5章 总结 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 在读期间发表的论文 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 学位论文独创性声明 | 第55页 |