面形精度评价方法研究

中文提要	第1-4页
英文摘要	第4-7页
第一章 绪论	第7-17页
·引言	第7-8页
·典型的光学检测方法	第8-16页
·星点检验法	第8-11页
·刀口阴影检验法	第11-13页
·干涉检验法	第13-16页
·论文的主要内容	第16页
·本章小结	第16-17页
第二章 面形精度的主要评价指标	第17-37页
·引言	第17-18页
·数字波面的获取	第18-21页
·条纹法	第18-19页
·相移法	第19-21页
·波面面形分布及主要评价指标	第21-25页
·波面偏差的表示方法	第21页
·峰谷值	第21-23页
·均方根值	第23页
·中心点亮度	第23-25页
·主要评价指标之间的联系	第25-35页
·峰谷值和均方根值的联系	第25-28页
·中心点亮度和均方根值的联系	第28-35页
·本章小结	第35-37页
第三章 中频段面形误差的评价方法	第37-57页
·引言	第37页
·波前畸变的频段划分	第37-38页
·功率谱密度的定义	第38-39页
·功率谱密度的计算	第39-50页
·一维功率谱密度的计算	第39-44页
·二维功率谱密度的计算	第44-45页
·由二维功率谱密度计算一维功率谱密度	第45-50页
·功率谱密度计算结果的校正	第50-51页
·功率谱密度测量结果的评价	第51-52页
·PSD 分析软件的制作	第52-55页
·本章小结	第55-57页
第四章 总结	第57-59页
参考文献	第59-62页
攻读学位期间发表的论文	第62-63页
致谢	第63-64页
详细摘要	第64-66页