数字刀口检测技术的研究
第一章 绪论 | 第1-14页 |
1.1 国内外研究现状 | 第8-10页 |
1.1.1 大口径光学元件的面形检测 | 第8-9页 |
1.1.2 微光学元件的面形检测 | 第9-10页 |
1.2 论文主要研究内容 | 第10-12页 |
参考文献 | 第12-14页 |
第二章 光学元件表面检测的常用方法 | 第14-25页 |
2.1 干涉术 | 第14-18页 |
2.2 表面轮廓测量术 | 第18-19页 |
2.3 显微术 | 第19-22页 |
2.3.1 扫描隧道显微镜(STM) | 第20-21页 |
2.3.2 原子力显微镜(AFM) | 第21-22页 |
2.4 数字刀口检测技术 | 第22页 |
2.5 本章小结 | 第22-24页 |
参考文献 | 第24-25页 |
第三章 数字刀口检测技术 | 第25-38页 |
3.1 数字刀口检测的原理 | 第25-29页 |
3.1.1 刀口检测的原理 | 第25-27页 |
3.1.2 数字刀口检测的原理 | 第27-29页 |
3.2 数字刀口检测的关键技术 | 第29-34页 |
3.2.1 暗场阈值的定义及其数值计算方法 | 第29-31页 |
3.2.2 图像去离焦处理 | 第31-33页 |
3.2.3 三维面形重构 | 第33-34页 |
3.3 本章小结 | 第34-36页 |
参考文献 | 第36-38页 |
第四章 大口径光学元件面形的数字刀口检测技术 | 第38-49页 |
4.1 检测模型的建立 | 第38-39页 |
4.2 图像处理和实验结果 | 第39-43页 |
4.3 影响检测精度的因素分析 | 第43-45页 |
4.3.1 测量误差表示 | 第43页 |
4.3.2 影响测量误差的因素 | 第43-45页 |
4.4 实验改进方案 | 第45-46页 |
4.5 本章小结 | 第46-48页 |
参考文献 | 第48-49页 |
第五章 微光学元件面形的数字刀口检测技术 | 第49-59页 |
5.1 检测模型 | 第49页 |
5.2 实验装置 | 第49-51页 |
5.3 实验结果分析 | 第51-54页 |
5.4 影响实验误差的因素 | 第54-55页 |
5.5 实验方案的改进 | 第55-56页 |
5.6 本章小结 | 第56-58页 |
参考文献 | 第58-59页 |
第六章 图像处理的程序设计 | 第59-61页 |
6.1 程序设计框图 | 第59-60页 |
6.2 需进一步完善的功能 | 第60-61页 |
6.2.1 程序的优化 | 第60页 |
6.2.2 功能的扩展 | 第60-61页 |
第七章 总结 | 第61-64页 |
作者在硕士期间发表的论文 | 第64-65页 |
声明 | 第65-66页 |
致谢 | 第66页 |