一种亚纳米级分辨力同轴式激光轮廓测量系统的研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·纳米技术概述 | 第8-9页 |
| ·纳米测量技术的现状及发展 | 第9-16页 |
| ·本课题的来源、目的和意义 | 第16-17页 |
| ·小结 | 第17-18页 |
| 2 轮廓测量系统的理论研究 | 第18-40页 |
| ·高斯光束 | 第18-25页 |
| ·同轴式激光轮廓测量技术的原理 | 第25-28页 |
| ·影响垂直分辨力的主要因数 | 第28-33页 |
| ·激光轮廓测量系统的横向分辨力 | 第33-35页 |
| ·参考光斑大小对表面轮廓测量的影响 | 第35-38页 |
| ·表面粗糙度参数的计算 | 第38-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 3 亚纳米级分辨力同轴式激光轮廓测量系统的设计 | 第40-58页 |
| ·系统设计 | 第40-41页 |
| ·激光双纵模热稳频装置 | 第41-53页 |
| ·光路结构的设计 | 第53-55页 |
| ·电子系统 | 第55-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 4 软件设计 | 第58-62页 |
| ·软件模块 | 第58页 |
| ·开发方案 | 第58-62页 |
| 5 精度分析 | 第62-65页 |
| 6 实验结果 | 第65-73页 |
| ·实物图 | 第65页 |
| ·轮廓测量系统的功能 | 第65-66页 |
| ·测量系统的分辨力 | 第66-68页 |
| ·对比测试 | 第68-70页 |
| ·不确定度测试 | 第70-73页 |
| 7 总结和展望 | 第73-74页 |
| 8 参考资料 | 第74-77页 |
| 9 硕士期间作者科研成果简介 | 第77页 |
| 10 论文成果声明 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
