摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
引言 | 第8-9页 |
第一章 研究背景 | 第9-14页 |
·ZnO材料简介 | 第9-11页 |
·ZnO的晶体结构 | 第9-10页 |
·ZnO的光学性质 | 第10页 |
·ZnO的电学性质 | 第10-11页 |
·ZnO基发光器件研究进展 | 第11-13页 |
·本研究的意义 | 第13-14页 |
第二章 ZnO薄膜材料的制备和表征方法简介 | 第14-20页 |
·脉冲激光沉积(PLD)系统的原理与结构 | 第14-17页 |
·PLD的工作原理简介 | 第14-15页 |
·PLD设备的结构 | 第15-16页 |
·PLD的优点和不足 | 第16页 |
·PLD系统应用于ZnO的制备 | 第16-17页 |
·X射线衍射(XRD) | 第17-18页 |
·拉曼光谱 | 第18-19页 |
·吸收光谱 | 第19页 |
·光致发光光谱 | 第19-20页 |
第三章 ZnO薄膜的制备及表征 | 第20-29页 |
·ZnO薄膜的制备 | 第20-21页 |
·靶材的制备 | 第20-21页 |
·石英衬底的清洗 | 第21页 |
·薄膜的生长 | 第21页 |
·生长条件对ZnO薄膜的结晶质量与光学性质的影响 | 第21-28页 |
·氧气气压的影响 | 第21-26页 |
·衬底温度的影响 | 第26-28页 |
·本章小结 | 第28-29页 |
第四章 p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结发光二极管的制备及特性研究 | 第29-38页 |
·p-GaN/n-ZnO异质结发光二极管的发展 | 第29-30页 |
·白光二极管的发展 | 第30页 |
·p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结白光二极管的制备和表征 | 第30-37页 |
·p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结白光二极管的制备 | 第31-32页 |
·p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结白光二极管的表征 | 第32-37页 |
·本章小结 | 第37-38页 |
第五章 结论 | 第38-39页 |
参考文献 | 第39-42页 |
致谢 | 第42-43页 |
硕士期间发表论文 | 第43页 |
参加学术会议情况 | 第43页 |