| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 第一章 研究背景 | 第9-14页 |
| ·ZnO材料简介 | 第9-11页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第9-10页 |
| ·ZnO的光学性质 | 第10页 |
| ·ZnO的电学性质 | 第10-11页 |
| ·ZnO基发光器件研究进展 | 第11-13页 |
| ·本研究的意义 | 第13-14页 |
| 第二章 ZnO薄膜材料的制备和表征方法简介 | 第14-20页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD)系统的原理与结构 | 第14-17页 |
| ·PLD的工作原理简介 | 第14-15页 |
| ·PLD设备的结构 | 第15-16页 |
| ·PLD的优点和不足 | 第16页 |
| ·PLD系统应用于ZnO的制备 | 第16-17页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第17-18页 |
| ·拉曼光谱 | 第18-19页 |
| ·吸收光谱 | 第19页 |
| ·光致发光光谱 | 第19-20页 |
| 第三章 ZnO薄膜的制备及表征 | 第20-29页 |
| ·ZnO薄膜的制备 | 第20-21页 |
| ·靶材的制备 | 第20-21页 |
| ·石英衬底的清洗 | 第21页 |
| ·薄膜的生长 | 第21页 |
| ·生长条件对ZnO薄膜的结晶质量与光学性质的影响 | 第21-28页 |
| ·氧气气压的影响 | 第21-26页 |
| ·衬底温度的影响 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第四章 p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结发光二极管的制备及特性研究 | 第29-38页 |
| ·p-GaN/n-ZnO异质结发光二极管的发展 | 第29-30页 |
| ·白光二极管的发展 | 第30页 |
| ·p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结白光二极管的制备和表征 | 第30-37页 |
| ·p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结白光二极管的制备 | 第31-32页 |
| ·p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结白光二极管的表征 | 第32-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第五章 结论 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-42页 |
| 致谢 | 第42-43页 |
| 硕士期间发表论文 | 第43页 |
| 参加学术会议情况 | 第43页 |