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PLD方法制备n-ZnO/i-ZnO/p-GaN异质结LED

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
引言第8-9页
第一章 研究背景第9-14页
   ·ZnO材料简介第9-11页
     ·ZnO的晶体结构第9-10页
     ·ZnO的光学性质第10页
     ·ZnO的电学性质第10-11页
   ·ZnO基发光器件研究进展第11-13页
   ·本研究的意义第13-14页
第二章 ZnO薄膜材料的制备和表征方法简介第14-20页
   ·脉冲激光沉积(PLD)系统的原理与结构第14-17页
     ·PLD的工作原理简介第14-15页
     ·PLD设备的结构第15-16页
     ·PLD的优点和不足第16页
     ·PLD系统应用于ZnO的制备第16-17页
   ·X射线衍射(XRD)第17-18页
   ·拉曼光谱第18-19页
   ·吸收光谱第19页
   ·光致发光光谱第19-20页
第三章 ZnO薄膜的制备及表征第20-29页
   ·ZnO薄膜的制备第20-21页
     ·靶材的制备第20-21页
     ·石英衬底的清洗第21页
     ·薄膜的生长第21页
   ·生长条件对ZnO薄膜的结晶质量与光学性质的影响第21-28页
     ·氧气气压的影响第21-26页
     ·衬底温度的影响第26-28页
   ·本章小结第28-29页
第四章 p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结发光二极管的制备及特性研究第29-38页
   ·p-GaN/n-ZnO异质结发光二极管的发展第29-30页
   ·白光二极管的发展第30页
   ·p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结白光二极管的制备和表征第30-37页
     ·p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结白光二极管的制备第31-32页
     ·p-GaN/i-ZnO/n-ZnO异质结白光二极管的表征第32-37页
   ·本章小结第37-38页
第五章 结论第38-39页
参考文献第39-42页
致谢第42-43页
硕士期间发表论文第43页
参加学术会议情况第43页

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