纳米三坐标测量机的误差分离与精度评定

摘要	第1-6页
Abstract	第6-7页
致谢	第7-11页
第一章 绪论	第11-17页
·三坐标测量机精度理论其发展现状	第11-14页
·误差分离技术研究现状	第14-15页
·课题来源及意义	第15-16页
·本论文的主要内容	第16-17页
第二章 纳米三坐标测量机的精度分析	第17-24页
·纳米三坐标测量机的精度分析	第17-22页
·纳米三坐标测量机的结构	第17-18页
·误差源分析	第18-22页
·总体精度设计与误差分配	第22-24页
第三章 基于样条插值的误差拟合方法的研究	第24-29页
·基于三次样条插值的测量机单项误差拟合方法	第24-26页
·三次样条插值理论	第24-25页
·基于三次样条插值理论的误差曲线拟合程序	第25-26页
·基于双三次样条原理的测量机相关性三维误差建模	第26-29页
·双三次样条函数计算方法	第26-28页
·误差曲面拟合程序	第28-29页
第四章 误差分离方法与实验	第29-43页
·误差分离方法	第29-32页
·X 轴、Y 轴方向的误差分离方法	第30页
·Z 轴方向的误差分离方法	第30-32页
·误差测量装置	第32-34页
·两维平面工作台运动瞬时中心对导轨误差的影响分析	第34-38页
·纳米工作台运动特点	第34-35页
·纳米工作台表面运动轨迹	第35-37页
·基于运动瞬时中心的误差分离与修正方法	第37-38页
·实验数据处理与误差修正	第38-43页
第五章 误差修正后的精度评定	第43-46页
·X 轴方向的精度评定	第43-44页
·Y 轴方向的精度评定	第44-45页
·Z 轴方向的精度评定	第45-46页
第六章 总结和展望	第46-48页
·研究总结	第46页
·今后研究工作展望	第46-48页
参考文献	第48-50页
攻读硕士学位期间发表的论文	第50-51页