Mn-Zn、Co2Z软磁铁氧体薄膜制备与磁性能的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·铁氧体材料简介 | 第10-13页 |
| ·铁氧体的分类 | 第11-12页 |
| ·铁氧体(亚铁磁性)磁性特征 | 第12-13页 |
| ·尖晶石型铁氧体材料的研究意义 | 第13-14页 |
| ·六角晶系铁氧体材料的研究意义 | 第14-15页 |
| ·本文的研究内容和方法 | 第15-16页 |
| 参考文献 | 第16-17页 |
| 第二章 理论基础 | 第17-42页 |
| ·薄膜电感的发展 | 第17-21页 |
| ·单面薄膜电感 | 第17-20页 |
| ·板上制作的双面耦合薄膜电感 | 第20-21页 |
| ·薄膜电感器的应用 | 第21-22页 |
| ·薄膜电感用薄膜材料 | 第22-26页 |
| ·尖晶石型铁氧体的基本特性 | 第26-32页 |
| ·尖晶石的晶体结构和阳离子分布 | 第26-28页 |
| ·尖晶石型铁氧体的磁结构及磁性来源 | 第28-30页 |
| ·含Zn复合铁氧体磁性 | 第30-32页 |
| ·六角晶系铁氧体的基本特性 | 第32-40页 |
| ·Z型铁氧体的晶体结构 | 第33-34页 |
| ·六角型铁氧体的基本特性 | 第34-40页 |
| 参考文献 | 第40-42页 |
| 第三章 薄膜的制备及性能测试 | 第42-55页 |
| ·薄膜制备 | 第42-47页 |
| ·薄膜制备方法 | 第42-43页 |
| ·溅射原理 | 第43-44页 |
| ·薄膜的生长过程 | 第44页 |
| ·基片的选择与清洗 | 第44-45页 |
| ·溅射用靶的制备 | 第45-46页 |
| ·薄膜的制备 | 第46-47页 |
| ·薄膜性能测量 | 第47-54页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第47-48页 |
| ·薄膜表面形貌和磁畴结构 | 第48-49页 |
| ·薄膜成分的分析 | 第49-50页 |
| ·薄膜结构分析 | 第50-52页 |
| ·薄膜磁性的测量 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第四章 Mn-Zn铁氧体薄膜的研究 | 第55-66页 |
| ·Mn-Zn铁氧体薄膜的制备 | 第55-56页 |
| ·影响Mn-Zn铁氧体薄膜性能的主要因素 | 第56-64页 |
| ·溅射氧分压对薄膜磁性能的影响 | 第57页 |
| ·热处理温度对薄膜磁性能的影响 | 第57-58页 |
| ·热处理真空度对薄膜磁性能的影响 | 第58-59页 |
| ·薄膜的单元层厚度对薄膜磁性能的影响 | 第59-60页 |
| ·薄膜厚度对薄膜磁性能的影响 | 第60页 |
| ·Zn含量对薄膜磁性能的影响 | 第60-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 第五章 Co2Z铁氧体薄膜的研究 | 第66-82页 |
| ·Co2Z铁氧体薄膜的制备 | 第67页 |
| ·Co2Z薄膜的结构与磁性 | 第67-80页 |
| ·成份对Co2Z薄膜的结构及磁性的影响 | 第67-70页 |
| ·热处理温度对薄膜磁性能的影响 | 第70-74页 |
| ·磁性体系的矫顽力机理 | 第74-80页 |
| 参考文献 | 第80-82页 |
| 结论 | 第82-84页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
