| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 图片目录 | 第11-13页 |
| 表格目录 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-27页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·湿度传感器概述 | 第15-18页 |
| ·电容式湿度传感器 | 第18-21页 |
| ·新型纳米敏感材料-硅纳米线 | 第21-23页 |
| ·本论文的主要工作 | 第23-24页 |
| 参考文献 | 第24-27页 |
| 第二章 硅纳米线的湿度敏感机理 | 第27-41页 |
| ·吸附理论(Adsorption theory) | 第27-30页 |
| ·气态等温吸附线(adsorption isotherms) | 第30-32页 |
| ·二氧化硅表面与水的相互作用机理 | 第32-35页 |
| ·多孔湿度敏感材料的敏感机理 | 第35-37页 |
| ·硅纳米线的敏感机理 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-41页 |
| 第三章 湿度传感器测试系统 | 第41-59页 |
| ·湿度测试系统要求 | 第41-42页 |
| ·纳米硅湿度传感器测试系统 | 第42-48页 |
| ·Labview虚拟仪器简介 | 第48-52页 |
| ·可控温度系统 | 第52-57页 |
| ·小结 | 第57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 第四章 纳米硅湿度传感器的研究 | 第59-78页 |
| ·纳米硅材料的制备 | 第59-62页 |
| ·纳米硅湿度传感器的制备与测试 | 第62-66页 |
| ·纳米硅湿度传感器的测试结果与讨论 | 第66-74页 |
| ·纳米硅湿度传感器感湿机理研究与讨论 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-78页 |
| 第五章 纳米硅湿度传感器镀镍修饰研究 | 第78-91页 |
| ·硅纳米线表面镀镍 | 第78-81页 |
| ·镍硅纳米线表征 | 第81-82页 |
| ·镍硅纳米线湿度传感器湿敏特性研究 | 第82-88页 |
| ·硅纳米线镀镍前后的比较 | 第88-89页 |
| ·本章小结 | 第89页 |
| 参考文献 | 第89-91页 |
| 第六章 总结及展望 | 第91-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第94页 |