单晶硅纳米压痕/划痕过程的有限元仿真分析与实验研究

摘要	第1-7页
Abstract	第7-11页
第1章 绪论	第11-21页
·研究背景及意义	第11-12页
·国内外研究现状	第12-19页
·纳米压痕/划痕测试技术的应用	第12-17页
·纳米压痕/划痕过程仿真研究现状	第17-19页
·本文研究内容	第19-21页
第2章 纳米压痕/划痕过程的基本原理及有限元仿真	第21-33页
·纳米压痕/划痕测试的基本原理	第21-24页
·纳米压痕测试技术的基本原理	第21-23页
·纳米划痕测试技术的基本原理	第23-24页
·有限元仿真模型的建立	第24-30页
·几何模型描述	第24-27页
·材料模型的建立	第27-29页
·摩擦模型的建立	第29-30页
·有限元数值计算	第30-32页
·接触算法	第30-31页
·有限元应力计算	第31-32页
·本章小结	第32-33页
第3章 纳米压痕实验及仿真模型验证	第33-39页
·纳米压痕实验	第33-36页
·实验设备及实验条件	第33-34页
·实验结果分析	第34-36页
·仿真模型验证	第36页
·纳米压痕仿真条件	第36页
·仿真与实验结果对比	第36页
·本章小结	第36-39页
第4章 单晶硅纳米压痕/划痕仿真结果及分析	第39-55页
·纳米压痕仿真结果分析	第39-47页
·不同压针作用时的结果分析	第39-42页
·不同压针半锥角时的结果分析	第42-45页
·不同载荷时的结果分析	第45-47页
·纳米划痕仿真结果分析	第47-53页
·划入几何形状的影响	第47-50页
·划痕深度的影响	第50-53页
·本章小结	第53-55页
第5章 总结与展望	第55-57页
参考文献	第57-61页
作者成果简介	第61-62页
致谢	第62页