| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·扫描探针显微镜（SPM）的工作原理及其特点 | 第13-17页 |
| ·SPM 的发展及其工作原理 | 第13-15页 |
| ·原子力显微镜（AFM）的特点及其应用 | 第15-16页 |
| ·AFM 的几种工作模式及其特点 | 第16-17页 |
| ·原子力显微镜（AFM）的发展现状及局限性 | 第17-18页 |
| ·课题来源及研究内容 | 第18-21页 |
| ·课题来源 | 第18-19页 |
| ·研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 基于高阶谐振的轻敲式原子力显微镜的系统结构 | 第21-24页 |
| ·系统整体的工作原理 | 第21页 |
| ·系统设计目标和要求 | 第21-22页 |
| ·系统设计方案及其结构框图 | 第22-24页 |
| 第三章 基于高阶谐振的轻敲式原子力显微镜的主体设计 | 第24-34页 |
| ·基座设计 | 第24-28页 |
| ·三维压电陶瓷扫描器设计 | 第24-26页 |
| ·探针-样品逼近系统 | 第26-28页 |
| ·测头设计 | 第28-34页 |
| ·探针微悬臂变形检测系统 | 第28-30页 |
| ·激光光路调整机构和光路设计 | 第30-34页 |
| 第四章 轻敲式探针励振单元 | 第34-41页 |
| ·基于DDS 的轻敲式探针励振方法 | 第34-35页 |
| ·基于AD9833 的轻敲式探针励振单元设计 | 第35-38页 |
| ·轻敲式探针励振单元的基本原理 | 第35-36页 |
| ·基于AD9833 的轻敲式探针励振电路设计 | 第36-37页 |
| ·轻敲式探针励振单元软件设计 | 第37-38页 |
| ·基于AD9833 的轻敲式探针励振电路性能测试 | 第38-41页 |
| ·励振电路输出频率特性 | 第38-40页 |
| ·励振电路的驱动能力 | 第40-41页 |
| 第五章 控制信号的检测、处理和采集 | 第41-48页 |
| ·四象限光电检测单元 | 第41-43页 |
| ·电压信号处理电路 | 第43-46页 |
| ·电压信号和差运算电路 | 第43-44页 |
| ·接触模式低通滤波电路 | 第44-45页 |
| ·RMS-DC 转换电路和轻敲模式低通滤波电路 | 第45-46页 |
| ·直流电压信号的采集 | 第46-48页 |
| 第六章 系统调试和性能评价 | 第48-57页 |
| ·系统总体结构实物图 | 第48-49页 |
| ·系统关键结构调试方法 | 第49-52页 |
| ·激光光斑位置和四象限器接收位置的调整 | 第49-51页 |
| ·微悬臂探针的选择和安装 | 第51-52页 |
| ·系统噪声测试 | 第52-54页 |
| ·NI PCI-6229 采集卡噪声测试 | 第52-53页 |
| ·电压信号处理电路噪声测试 | 第53-54页 |
| ·探针反射光强信号测试 | 第54-55页 |
| ·系统频率响应测试 | 第55-57页 |
| 第七章 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·研究总结 | 第57-58页 |
| ·存在的问题及工作展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第62-63页 |