| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-16页 |
| ·微纳米三坐标测量机的研究目的及意义 | 第12页 |
| ·当前国内外微纳米三坐标测量机的研究现状 | 第12-14页 |
| ·课题来源及本论文的研究内容 | 第14-16页 |
| ·课题研究目的及意义 | 第14-15页 |
| ·课题来源及研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 三坐标测量机的主体结构的变形机理分析 | 第16-21页 |
| ·三坐标测量机的主体结构的变形机理分析 | 第16-19页 |
| ·悬臂式结构 | 第16-17页 |
| ·龙门式结构 | 第17-18页 |
| ·拱形式结构 | 第18-19页 |
| ·有限元概述 | 第19-20页 |
| ·ANSYS 分析软件简介 | 第20页 |
| ·小结 | 第20-21页 |
| 第三章 拱形亭式微纳米三坐标测量机的主体结构设计 | 第21-37页 |
| ·新型拱形亭式结构的设计 | 第21-26页 |
| ·新型拱形亭式结构的提出 | 第21页 |
| ·几种机架机构的有限元分析及对比 | 第21-23页 |
| ·拱形亭式结构的参数优化 | 第23-26页 |
| ·结构动态特性的理论分析 | 第26-30页 |
| ·结构的动力方程 | 第26-28页 |
| ·结构振动的特性分析 | 第28页 |
| ·结构振动响应的特性分析 | 第28-30页 |
| ·拱形亭式结构动态特性的有限元分析及对比 | 第30-32页 |
| ·结构的模态分析 | 第30-31页 |
| ·结构的谐响应分析 | 第31-32页 |
| ·拱形亭式微纳米三坐标测量机的误差分析与精度设计 | 第32-36页 |
| ·Nano-CMM 的误差分析 | 第32-34页 |
| ·Nano-CMM 的精度设计 | 第34页 |
| ·Nano-CMM 的不确定度估计 | 第34-36页 |
| ·小结 | 第36-37页 |
| 第四章 悬臂式微纳米三坐标测量机的主体机台设计及误差分析 | 第37-45页 |
| ·悬臂式结构的具体设计 | 第37-40页 |
| ·悬臂式结构的有限元分析 | 第40-42页 |
| ·自重分析 | 第40-41页 |
| ·模态分析 | 第41-42页 |
| ·悬臂式微纳米三坐标测量机的误差分析与精度设计 | 第42-44页 |
| ·影响纳米三坐标测量机精度的误差源分析 | 第43页 |
| ·纳米三坐标测量机精度设计 | 第43-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第五章 总结与展望 | 第45-47页 |
| ·主要工作总结 | 第45-46页 |
| ·研究工作展望 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第49-50页 |
| 附录 | 第50-58页 |