| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 引言 | 第9-17页 |
| ·工作背景 | 第9-13页 |
| ·传感器概述 | 第9-10页 |
| ·湿度的定义 | 第10-11页 |
| ·湿度的测量 | 第11-13页 |
| ·湿度传感器的概述 | 第13-16页 |
| ·陶瓷湿度传感器 | 第13-14页 |
| ·高分子聚合物湿度传感器 | 第14-15页 |
| ·多孔硅湿度传感器 | 第15-16页 |
| ·本论文的主要工作 | 第16-17页 |
| 2 CMOS工艺电容型湿度传感器的工作原理及结构设计 | 第17-27页 |
| ·CMOS工艺电容型湿度传感器的结构 | 第17-19页 |
| ·CMOS工艺电容型湿度传感器的工作原理 | 第19页 |
| ·感湿介质层的选择 | 第19-22页 |
| ·多孔硅、多孔铝为感湿介质 | 第19-20页 |
| ·空气为感湿介质 | 第20页 |
| ·聚酰亚胺为感湿介质 | 第20-22页 |
| ·聚酰亚胺的感湿机理 | 第22-24页 |
| ·湿度传感器的感湿特征参数 | 第24-25页 |
| ·湿度量程 | 第24页 |
| ·湿滞 | 第24页 |
| ·灵敏度 | 第24-25页 |
| ·响应时间 | 第25页 |
| ·线性度 | 第25页 |
| ·电容型湿度传感器的设计 | 第25-27页 |
| 3 电容型湿度传感器的结构优化 | 第27-34页 |
| ·对湿度传感器的模拟分析 | 第27-32页 |
| ·电势和电场分布 | 第27-28页 |
| ·升湿、降湿过程中各区水分子数量的动态变化 | 第28-29页 |
| ·响应时间 | 第29-31页 |
| ·动态响应过程的表征 | 第31-32页 |
| ·电容型湿度传感器的版图结构优化 | 第32-34页 |
| 4 电容型湿度传感器的工艺实现 | 第34-45页 |
| ·不可溶性聚酰亚胺电容型湿度传感器的制备 | 第34-43页 |
| ·可溶性聚酰亚胺电容型湿度传感器的制备 | 第43页 |
| ·工艺难点与改进 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 5 电容型湿度传感器的测试与分析 | 第45-51页 |
| ·测试系统 | 第45-46页 |
| ·测试结果 | 第46-49页 |
| ·不可溶性聚酰亚胺湿度传感器测试结果 | 第46-48页 |
| ·可溶性聚酰亚胺湿度传感器的测试结果 | 第48-49页 |
| ·主要结论 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 致谢 | 第54页 |