一种新型超精密光学元件瑕疵检测装置开发
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-10页 |
| ·课题来源 | 第7页 |
| ·研究目的及意义 | 第7-8页 |
| ·光学元件洁净度检测技术国内外发展状况 | 第8-9页 |
| ·课题主要的研究方向及内容 | 第9-10页 |
| 2 相关理论基础 | 第10-26页 |
| ·光学成像系统 | 第10-15页 |
| ·CCD 成像原理 | 第10-12页 |
| ·镜头选取集参数 | 第12-14页 |
| ·光源的选择 | 第14-15页 |
| ·图像数字处理的基本方法 | 第15-24页 |
| ·降噪处理 | 第16-17页 |
| ·图像分割 | 第17-20页 |
| ·边缘提取 | 第20-24页 |
| ·图像的数学形态学处理 | 第24-26页 |
| 3 检测装置结构设计 | 第26-43页 |
| ·系统功能概述和技术要求 | 第26页 |
| ·瑕疵检测系统主体设计要求 | 第26页 |
| ·设计原理 | 第26-28页 |
| ·检测装置的机械结构 | 第28-43页 |
| ·丝杠和导轨的选择 | 第29-30页 |
| ·传动系统的设计 | 第30页 |
| ·步进电机的选型 | 第30-35页 |
| ·装配公差分析 | 第35-40页 |
| ·基于cosmos works 的机构仿真 | 第40-43页 |
| 4 检测装置的软件设计 | 第43-59页 |
| ·开发软件环境 | 第43页 |
| ·系统框架 | 第43-47页 |
| ·系统流程图 | 第43-44页 |
| ·图像采集模块 | 第44-46页 |
| ·图像分析模块 | 第46-47页 |
| ·软件中的关键技术 | 第47-56页 |
| ·图像的拼接 | 第47-49页 |
| ·基于主动轮廓的图像提取 | 第49-56页 |
| ·标定 | 第56-59页 |
| ·标定方法 | 第56-57页 |
| ·标定结果 | 第57-59页 |
| 5 结论与展望 | 第59-61页 |
| ·全文总结 | 第59页 |
| ·展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录 | 第65页 |
| A 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第65页 |
| B 作者在攻读硕士学位期间取得的科研成果目录 | 第65页 |
