| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·BiFeO_3(BFO)的结构及性质 | 第8-10页 |
| ·CoFe_2O_4(CFO)的结构及性质 | 第10-11页 |
| ·多铁性复合薄膜 | 第11-16页 |
| ·多铁性复合薄膜的制备方法 | 第12-14页 |
| ·多铁性复合薄膜的分类及国内外研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 试验设备、试验材料及检测仪器 | 第17-22页 |
| ·实验设备 | 第17-18页 |
| ·试验试剂和材料 | 第18页 |
| ·检测仪器 | 第18-22页 |
| ·台阶仪 | 第18页 |
| ·X射线衍射仪 | 第18-19页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第19页 |
| ·原子力显微镜 | 第19页 |
| ·铁电测试系统 | 第19-20页 |
| ·震动样品磁强计(VSM) | 第20-22页 |
| 第三章 BFO薄膜的制备及性能表征 | 第22-38页 |
| ·BFO靶材的制备 | 第22-24页 |
| ·研磨 | 第22页 |
| ·预烧 | 第22页 |
| ·造粒 | 第22-23页 |
| ·靶材压制 | 第23页 |
| ·靶材烧结 | 第23-24页 |
| ·BFO薄膜的制备 | 第24-29页 |
| ·清洗基片 | 第24-25页 |
| ·底层电极制备 | 第25页 |
| ·BFO薄膜的制备 | 第25-27页 |
| ·顶层电极制备 | 第27-29页 |
| ·BFO薄膜的退火 | 第29页 |
| ·BFO薄膜的测试结果与讨论 | 第29-37页 |
| ·BFO薄膜晶体结构的XRD分析 | 第29-31页 |
| ·BFO薄膜的表面形貌分析 | 第31-32页 |
| ·BFO薄膜的电滞回线分析 | 第32-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 CFO薄膜的制备及性能表征 | 第38-46页 |
| ·CFO靶材的制备 | 第38-39页 |
| ·CFO薄膜的制备 | 第39-40页 |
| ·CFO薄膜的测试结果与讨论 | 第40-45页 |
| ·CFO薄膜晶体结构的XRD分析 | 第40-41页 |
| ·CFO薄膜的表面形貌分析 | 第41-42页 |
| ·CFO薄膜的磁滞回线分析 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 BFO/CFO多铁性复合薄膜的制备及性能表征 | 第46-54页 |
| ·BFO/CFO多铁性复合薄膜的制备 | 第46-47页 |
| ·BFO/CFO多铁性复合薄膜的测试结果与讨论 | 第47-52页 |
| ·BFO/CFO多铁性复合薄膜晶体结构的XRD分析 | 第47-48页 |
| ·BFO/CFO多铁性复合薄膜的表面形貌分析 | 第48页 |
| ·BFO/CFO多铁性复合薄膜的电滞回线分析 | 第48-51页 |
| ·BFO/CFO多铁性复合薄膜的磁滞回线分析 | 第51-52页 |
| ·本章小节 | 第52-54页 |
| 第六章 结论与展望 | 第54-56页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| ·展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 附:硕士研究生期间发表的论文 | 第60页 |