| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| ·纳米材料的概念及特殊性质 | 第10-13页 |
| ·纳米材料的概念 | 第10页 |
| ·纳米材料的物理性质 | 第10-13页 |
| ·纳米材料的制备方法 | 第13-15页 |
| ·蒸发-冷凝法 | 第13页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第13页 |
| ·溅射镀膜法 | 第13-14页 |
| ·化学气相沉积法 | 第14页 |
| ·分子束外延镀膜法 | 第14-15页 |
| ·电沉积法 | 第15页 |
| ·喷雾热分解(Spray Pyrolysis) | 第15页 |
| ·氧化锌薄膜的应用领域 | 第15-16页 |
| ·ZnO 薄膜的光电特性 | 第15-16页 |
| ·ZnO 薄膜的 PN 结特性 | 第16页 |
| ·ZnO 薄膜的气敏特性 | 第16页 |
| ·ZnO 薄膜的压敏特性 | 第16页 |
| ·氧化锌薄膜的气敏机理 | 第16-18页 |
| ·原子价控制模型 | 第17页 |
| ·表面电荷层模型 | 第17-18页 |
| ·晶粒间界势垒模型 | 第18页 |
| ·ZnO 的基本性质及 ZnO 气敏传感器的研究进展 | 第18-21页 |
| ·ZnO 的基本性质 | 第18-20页 |
| ·ZnO 气敏传感器的研究进展 | 第20-21页 |
| ·本论文的研究思路和主要的研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 纳米ZnO 颗粒和薄膜的制备及表征 | 第23-44页 |
| ·溶胶-凝胶(sol-gel)简介 | 第23-24页 |
| ·ZnO 纳米颗粒和薄膜的制备 | 第24-28页 |
| ·实验原料 | 第24-25页 |
| ·实验设备 | 第25页 |
| ·ZnO 纳米颗粒的制备 | 第25-26页 |
| ·ZnO 薄膜的制备 | 第26-28页 |
| ·掺杂 La~(3+)、Ce~(3+)和Cu~(2+)的 ZnO 薄膜的制备 | 第28页 |
| ·ZnO 粉体的 XRD 分析 | 第28-39页 |
| ·不同醋酸锌浓度制得的ZnO 粉体的XRD 分析 | 第28-30页 |
| ·不同烧结温度制得的 ZnO 粉体的 XRD 分析 | 第30-32页 |
| ·不同浓度La~(3+)掺杂对ZnO 粉体结构的影响 | 第32-33页 |
| ·不同烧结温度对浓度对ZnO(La~(3+)掺杂)粉体结构的影响 | 第33-35页 |
| ·不同浓度Ce~(3+)掺杂对ZnO 粉体结构的影响 | 第35-36页 |
| ·不同浓度Cu~(2+)掺杂对ZnO 粉体结构的影响 | 第36-38页 |
| ·不同浓度Cu~(2+)掺杂对ZnO 粉体结构的影响 | 第38-39页 |
| ·ZnO 粉体的 EDS 分析 | 第39-41页 |
| ·ZnO 粉体的 FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第3章 纳米 ZnO 薄膜的气敏特性测试 | 第44-55页 |
| ·前言 | 第44-45页 |
| ·ZnO 气敏传感器测试的基础理论及制备 | 第45-48页 |
| ·ZnO 传感器的现状 | 第45-46页 |
| ·气敏传感器测试的基本理论依据 | 第46页 |
| ·实验仪器简介 | 第46-47页 |
| ·常见传感器的技术指标 | 第47-48页 |
| ·ZnO 气敏传感器的制备 | 第48页 |
| ·ZnO 气敏传感器的性能测试及作用机理分析 | 第48-54页 |
| ·加热电压与灵敏度的关系 | 第48-50页 |
| ·不同退火温度下气敏元件的响应-恢复曲线 | 第50-52页 |
| ·不同退火温度下气敏元件对不同气体的灵敏度 | 第52-53页 |
| ·不同浓度的不同气体的灵敏度曲线 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第4章 掺杂纳米 ZnO 的气敏特性研究 | 第55-69页 |
| ·前言 | 第55页 |
| ·掺杂 La~(3+)、Ce~(3+)的 ZnO 气敏传感器的制备以分类 | 第55-56页 |
| ·掺杂 La~(3+)的ZnO 气敏传感器的制备 | 第55-56页 |
| ·掺杂 Ce3+的ZnO 气敏传感器的制备 | 第56页 |
| ·掺杂 Cu~(2+)的ZnO 气敏传感器的制备 | 第56页 |
| ·掺杂 ZnO 气敏传感器的分类 | 第56页 |
| ·掺 La~(3+)的ZnO 薄膜的气敏特性测试 | 第56-61页 |
| ·加热电压与灵敏度的关系 | 第56-58页 |
| ·不同退火温度下气敏元件的响应-恢复曲线 | 第58-60页 |
| ·不同乙醇浓度下气敏元件的响应-恢复特性 | 第60-61页 |
| ·掺 Ce~(3+)的ZnO 薄膜的气敏特性测试 | 第61-64页 |
| ·加热电压与灵敏度的关系 | 第61-62页 |
| ·不同退火温度下气敏元件的响应-恢复曲线 | 第62-63页 |
| ·不同乙醇浓度下气敏元件的响应-恢复特性 | 第63-64页 |
| ·Cu~(2+)掺杂对乙醇灵敏度的影响 | 第64-67页 |
| ·加热电压与灵敏度的关系 | 第64-66页 |
| ·不同退火温度下气敏元件的响应-恢复曲线 | 第66页 |
| ·不同乙醇浓度下气敏元件的响应-恢复特性 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 作者简介 | 第78页 |
