纳米非晶硅薄膜光电性能与微观结构研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| ·太阳能电池简介 | 第10-15页 |
| ·太阳能电池的历史及发展状况 | 第10-11页 |
| ·太阳能电池的基本原理 | 第11-13页 |
| ·太阳能电池材料 | 第13-15页 |
| ·太阳能电池硅薄膜材料 | 第15-19页 |
| ·非晶硅薄膜的基本理论 | 第16-18页 |
| ·多晶硅薄膜的基本理论 | 第18-19页 |
| ·叠层电池的研究与发展 | 第19页 |
| ·硅薄膜的制备方法 | 第19-22页 |
| ·HWCVD 简介 | 第19-21页 |
| ·HWCVD 中硅薄膜生长机理 | 第21-22页 |
| ·硅薄膜分析方法简介 | 第22-24页 |
| ·硅薄膜光电性能分析方法 | 第22-23页 |
| ·薄膜形貌及结构分析方法 | 第23-24页 |
| ·本论文的研究内容和目的 | 第24-26页 |
| 第2章 硅薄膜光电性能研究 | 第26-43页 |
| ·非晶化硅薄膜光电性质的研究方法 | 第27-31页 |
| ·表面光电压/电流谱 | 第27页 |
| ·方块电阻 | 第27-28页 |
| ·霍尔系数 | 第28-30页 |
| ·紫外-可见光反射光谱 | 第30-31页 |
| ·效率的推算方法 | 第31页 |
| ·结果分析与讨论 | 第31-41页 |
| ·样品光电压谱及光电稳定性 | 第31-33页 |
| ·样品光电流谱 | 第33-35页 |
| ·方块电阻测试 | 第35页 |
| ·载流子浓度及迁移率 | 第35-39页 |
| ·光反射性能 | 第39-40页 |
| ·光电转换效率推算 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第3章 硅薄膜微观结构研究 | 第43-66页 |
| ·硅薄膜微观结构的研究方法 | 第43-44页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第43页 |
| ·透射电子显微镜 | 第43-44页 |
| ·Raman 散射光谱分析 | 第44页 |
| ·TEM 截面样品制备方法 | 第44-48页 |
| ·硅片的粘结 | 第45-46页 |
| ·研磨样品 | 第46-47页 |
| ·凹坑与离子减薄 | 第47-48页 |
| ·实验结果分析讨论 | 第48-66页 |
| ·薄膜绒面结构分析 | 第48-51页 |
| ·薄膜缺陷及截面分析 | 第51-52页 |
| ·硅薄膜TEM 截面分析 | 第52-62页 |
| ·Raman 散射光谱分析 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 作者简介 | 第73页 |
