| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 静电驱动微谐振器的研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 吸合效应研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 非线性振动研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 加工误差研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 目前国内外研究存在的问题 | 第15页 |
| 1.4 本文研究内容和创新特色及创新点 | 第15-17页 |
| 1.4.1 研究目标 | 第15页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第15-16页 |
| 1.4.3 研究创新点 | 第16-17页 |
| 第二章 厚度形态误差下单极板静电驱动微谐振器的静动态分析 | 第17-31页 |
| 2.1 数学建模 | 第17-20页 |
| 2.1.1 控制方程 | 第17-19页 |
| 2.1.2 Galerkin离散 | 第19页 |
| 2.1.3 Newton–Cotes法 | 第19-20页 |
| 2.2 静态分析 | 第20-21页 |
| 2.3 动态分析 | 第21-28页 |
| 2.3.1 小振幅动态分析 | 第23-25页 |
| 2.3.2 大振幅动态分析 | 第25-28页 |
| 2.4 有限元仿真验证 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 厚度形态误差下双极板静电驱动微谐振器的静动态分析 | 第31-38页 |
| 3.1 数学建模 | 第31-33页 |
| 3.2 静态分析 | 第33-35页 |
| 3.3 动态分析 | 第35-37页 |
| 3.3.1 小幅振动 | 第36页 |
| 3.3.2 参数优化 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 静电驱动下双参数控制变截面微梁谐振器的研究与优化 | 第38-57页 |
| 4.1 引言 | 第38-41页 |
| 4.1.1 伽辽金离散 | 第40-41页 |
| 4.2 静态分析 | 第41-44页 |
| 4.3 动态分析 | 第44-51页 |
| 4.3.1 参数优化 | 第46-49页 |
| 4.3.2 有限元仿真 | 第49-51页 |
| 4.4 大幅值振动 | 第51-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 全文总结 | 第57-58页 |
| 5.2 问题与展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 附录 | 第64-67页 |
| 附录A | 第64页 |
| 附录B | 第64-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
