| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 图表清单 | 第11-14页 |
| 注释表 | 第14-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-37页 |
| ·巨磁电阻的研究进展 | 第15-16页 |
| ·交换偏置 | 第16-22页 |
| ·交换偏置的物理机制 | 第16-19页 |
| ·影响交换偏置的因素 | 第19-22页 |
| ·自旋阀巨磁电阻 | 第22-26页 |
| ·自旋阀结构的分类 | 第22-24页 |
| ·自旋阀巨磁电阻的原理 | 第24-25页 |
| ·自旋阀巨磁电阻的研究进展 | 第25页 |
| ·自旋阀巨磁电阻的应用 | 第25-26页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第26-27页 |
| ·自旋阀巨磁电阻器件的制备方法 | 第27-31页 |
| ·光刻技术 | 第27页 |
| ·电子束刻蚀 | 第27-28页 |
| ·化学反应刻蚀 | 第28页 |
| ·聚焦离子束刻蚀 | 第28-31页 |
| ·热磁稳定性 | 第31-32页 |
| ·本论文研究的目的和意义 | 第32-33页 |
| ·本论文研究的主要内容和方法 | 第33-37页 |
| ·本研究的主要内容 | 第33-34页 |
| ·研究方法 | 第34-36页 |
| ·本研究技术路线 | 第36-37页 |
| 第二章 样品的制备与表征方法 | 第37-42页 |
| ·样品的制备 | 第37-38页 |
| ·自旋阀结构原型与膜材料选择 | 第37页 |
| ·样品制备的过程 | 第37-38页 |
| ·薄膜样品的元素分布 | 第38页 |
| ·薄膜样品的结构表征 | 第38-40页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第38页 |
| ·原子力显微镜分析 | 第38-39页 |
| ·透射电子显微分析 | 第39-40页 |
| ·薄膜物性的测量 | 第40-41页 |
| ·振动样品磁强计 | 第40页 |
| ·四探针 | 第40-41页 |
| ·SRIM 软件 | 第41-42页 |
| 第三章 低剂量Ga~+离子辐照对自旋阀的结构、磁性与磁电阻性能的影响 | 第42-60页 |
| ·Ga~+离子辐照对自旋阀多层膜结构的影响 | 第42-50页 |
| ·Ga~+离子辐照对CoFe/IrMn 双层膜结构的影响 | 第42-45页 |
| ·Ga~+离子辐照对CoFe/Cu/CoFe/IrMn 多层膜结构的影响 | 第45-50页 |
| ·Ga~+离子辐照对自旋阀多层膜磁性能的影响 | 第50-56页 |
| ·Ga~+离子辐照对CoFe/IrMn 双层膜磁性能的影响 | 第50-51页 |
| ·Ga~+离子辐照对CoFe/Cu/CoFe/IrMn 多层膜磁性能的影响 | 第51-56页 |
| ·低剂量Ga~+离子辐照对自旋阀巨磁电阻的影响 | 第56-59页 |
| ·低剂量Ga~+离子辐照对电阻的影响 | 第56-58页 |
| ·低剂量Ga~+离子辐照对磁电阻的影响 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 低剂量Ga~+离子辐照对自旋阀热磁稳定性的影响 | 第60-67页 |
| ·Ga~+离子辐照对CoFe/IrMn 双层膜热磁稳定性的影响 | 第60-64页 |
| ·Ga~+离子辐照对CoFe/Cu/CoFe/IrMn 自旋阀多层膜热磁稳定性的影响 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 温度对自旋阀结构和磁性能的影响 | 第67-82页 |
| ·温度对自旋阀多层膜结构的影响 | 第67-73页 |
| ·退火温度对自旋阀多层膜结构的影响 | 第67-69页 |
| ·不同加热温度对自旋阀多层膜结构的影响 | 第69-72页 |
| ·连续升温温度对CoFe/Cu/CoFe/IrMn 自旋阀多层膜结构的影响 | 第72-73页 |
| ·温度对自旋阀多层膜磁性能的影响 | 第73-80页 |
| ·退火温度对自旋阀多层膜磁性能的影响 | 第73-75页 |
| ·不同加热温度对自旋阀多层膜磁性能的影响 | 第75-77页 |
| ·连续升温对自旋阀多层膜磁性能的影响 | 第77-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 第六章 温度对自旋阀热磁稳定性的影响 | 第82-94页 |
| ·退火温度对CoFe/IrMn 双层膜热磁稳定性的影响 | 第82-83页 |
| ·退火温度对自旋阀多层膜热磁稳定性的影响 | 第83-84页 |
| ·不同加热温度对CoFe/IrMn 双层膜热磁稳定性的影响 | 第84-89页 |
| ·不同加热温度对自旋阀多层膜热磁稳定性的影响 | 第89-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第七章 主要结论、创新点与展望 | 第94-96页 |
| ·主要结论 | 第94-95页 |
| ·主要创新点 | 第95页 |
| ·展望 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第114-115页 |
