| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-9页 |
| Abstract | 第9-13页 |
| 1 绪论 | 第17-43页 |
| 1.1 引言 | 第17页 |
| 1.2 ZrB_2性质简介 | 第17-19页 |
| 1.3 硼的同位素 | 第19-20页 |
| 1.4 磁控溅射对靶材性能的要求 | 第20-21页 |
| 1.5 研究背景及意义 | 第21-24页 |
| 1.5.1 研究背景 | 第21-23页 |
| 1.5.2 研究意义 | 第23-24页 |
| 1.6 国内外研究现状 | 第24-40页 |
| 1.6.1 ZrB_2粉体制备 | 第24-34页 |
| 1.6.2 粉体合成中的晶粒生长 | 第34-36页 |
| 1.6.3 ZrB_2陶瓷致密化 | 第36-40页 |
| 1.7 研究内容 | 第40-41页 |
| 1.8 研究目标 | 第41页 |
| 1.9 特色与创新 | 第41-43页 |
| 2 碳热还原反应制备ZrB_2粉体的实验研究 | 第43-66页 |
| 2.1 实验与研究方法 | 第43-45页 |
| 2.1.1 实验原料 | 第43页 |
| 2.1.2 分析表征方法 | 第43页 |
| 2.1.3 实验设备及其工作原理 | 第43-44页 |
| 2.1.4 碳热还原反应工艺实验 | 第44-45页 |
| 2.2 碳热还原体系热力学计算 | 第45-48页 |
| 2.3 原料性能表征 | 第48-50页 |
| 2.4 前驱体制备及性能表征 | 第50-54页 |
| 2.4.1 前驱体粉体制备 | 第50-51页 |
| 2.4.2 前驱体粉体流动特性 | 第51-52页 |
| 2.4.3 前驱体粉体差热分析 | 第52-54页 |
| 2.5 碳热还原反应制备小批量ZrB_2粉的工艺研究 | 第54-62页 |
| 2.5.1 合成温度对ZrB_2粉体物相及形貌的影响 | 第54-55页 |
| 2.5.2 原料配比对ZrB2粉体物相的影响 | 第55-56页 |
| 2.5.3 保温时间对ZrB2粉体物相及形貌的影响 | 第56-58页 |
| 2.5.4 反应气氛对ZrB2粉体物相及形貌的影响 | 第58-59页 |
| 2.5.5 不同碳源对制备ZrB2粉体物相及形貌的影响 | 第59-61页 |
| 2.5.6 前驱体粒度分布对制备ZrB_2粉体物相及形貌的影响 | 第61-62页 |
| 2.6 碳热还原反应制备ZrB_2粉放大实验研究 | 第62-64页 |
| 2.7 碳热还原制备ZrB_2粉体粒子生长过程分析 | 第64-65页 |
| 2.8 小结 | 第65-66页 |
| 3 碳热还原反应制备ZrB_2粉体粒子生长及形貌控制 | 第66-78页 |
| 3.1 实验与研究方法 | 第66-67页 |
| 3.2 硼粉对碳热还原合成ZrB_2粉体粒子生长及形貌控制的影响 | 第67-71页 |
| 3.2.1 添加B粉后前驱体的差热分析 | 第67-68页 |
| 3.2.2 硼粉对制备ZrB_2粉体物相的影响 | 第68-69页 |
| 3.2.3 硼粉对制备ZrB_2粉体形貌的影响 | 第69-70页 |
| 3.2.4 硼粉对制备ZrB_2颗粒微观结构的影响 | 第70-71页 |
| 3.3 纳米ZrB_2颗粒对碳热还原合成ZrB_2粉体相组成及产物形貌的影响 | 第71-73页 |
| 3.4 NaCl对碳热还原合成ZrB_2粉体的影响 | 第73-74页 |
| 3.5 同时添加硼粉和NaCl对碳热还原合成ZrB_2粉体的影响 | 第74-76页 |
| 3.6 小结 | 第76-78页 |
| 4 碳热还原合成~(10)B富集的ZrB_2粉体及~(10)B丰度均匀性控制 | 第78-90页 |
| 4.1 实验与研究方法 | 第78-82页 |
| 4.1.1 分析表征方法 | 第78页 |
| 4.1.2 实验方法 | 第78页 |
| 4.1.3 混合实验设备及其工作原理 | 第78-80页 |
| 4.1.4 ZrB_2粉体~(10)B丰度计算 | 第80-81页 |
| 4.1.5 ~(10)B丰度均匀性表征方法 | 第81-82页 |
| 4.2 添加B粉对合成~(10)B富集的ZrB_2粉体性能表征 | 第82-83页 |
| 4.3 ~(10)B富集的ZrB_2粉体~(10)B丰度稳定性控制 | 第83-89页 |
| 4.3.1 双螺旋锥形混合机混合时间对~(10)B丰度均匀性的影响 | 第85-86页 |
| 4.3.2 高速混合机混合~(10)B富集的ZrB_2粉 | 第86-89页 |
| 4.4 小结 | 第89-90页 |
| 5 ZrB_2靶材的深度致密化及镀膜表征 | 第90-108页 |
| 5.1 实验与研究方法 | 第90-91页 |
| 5.1.1 分析表征方法 | 第90页 |
| 5.1.2 热压烧结制备ZrB_2靶材实验方案 | 第90-91页 |
| 5.1.3 ZrB_2靶材镀膜表征实验方案 | 第91页 |
| 5.2 热压烧结制备ZrB_2靶材工艺研究 | 第91-93页 |
| 5.2.1 压力对ZrB_2靶材致密度的影响 | 第92-93页 |
| 5.2.2 保温保压时间对ZrB_2靶材致密度的影响 | 第93页 |
| 5.3 ZrB_2靶材深度致密化实验研究 | 第93-104页 |
| 5.3.1 不同原料来源对ZrB_2靶材致密化的影响 | 第94页 |
| 5.3.2 不同原料来源对ZrB_2靶材热压烧结相结构的影响 | 第94-95页 |
| 5.3.3 不同ZrB_2粉体原料来源热压烧结得到的ZrB_2靶材断面形貌 | 第95-96页 |
| 5.3.4 低密度靶材的成分分布 | 第96-98页 |
| 5.3.5 低密度靶材的微观结构分析 | 第98-100页 |
| 5.3.6 ZrB_2靶材的热压深度致密化研究 | 第100-104页 |
| 5.4 ZrB_2靶材镀膜表征 | 第104-106页 |
| 5.5 小结 | 第106-108页 |
| 6 结论 | 第108-111页 |
| 参考文献 | 第111-126页 |
| 作者简历及在学研究成果 | 第126-129页 |
| 学位论文数据集 | 第129页 |
