| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第16-28页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第16-18页 |
| 1.2 FSM国内外产品现状 | 第18-25页 |
| 1.2.1 国外产品发展现状 | 第18-22页 |
| 1.2.2 国内产品发展现状 | 第22-25页 |
| 1.3 关键技术研究 | 第25-26页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 快反镜系统指标分析与设计 | 第28-54页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 FSM性能指标分析 | 第28-32页 |
| 2.3 FSM系统组成及要求 | 第32-36页 |
| 2.4 压电陶瓷特性研究 | 第36-41页 |
| 2.4.1 逆压电效应简介 | 第36-37页 |
| 2.4.2 压电陶瓷迟滞、蠕变特性研究 | 第37-39页 |
| 2.4.3 压电陶瓷的出力-位移特性 | 第39-41页 |
| 2.5 FSM性能指标与组成部件的关系 | 第41-42页 |
| 2.6 FSM系统总体方案设计 | 第42-52页 |
| 2.6.1 驱动方案路线与耦合现象 | 第42-44页 |
| 2.6.2 反射镜材料选择 | 第44-45页 |
| 2.6.3 位移放大机构设计 | 第45-48页 |
| 2.6.3.1 位移放大机构简介 | 第45-46页 |
| 2.6.3.2 杠杆式位移放大机构原理 | 第46-48页 |
| 2.6.4 柔性铰链支撑设计 | 第48-52页 |
| 2.7 本章小结 | 第52-54页 |
| 第3章 大口径快反镜性能分析 | 第54-78页 |
| 3.1 引言 | 第54页 |
| 3.2 驱动器布置方案研究 | 第54-59页 |
| 3.2.1 三点等边驱动布置方案 | 第54-56页 |
| 3.2.2 四点对称驱动布置方案 | 第56-58页 |
| 3.2.3 三点等腰驱动布置方案 | 第58-59页 |
| 3.3 FSM力学模型与控制方案的考虑 | 第59-64页 |
| 3.3.1 FSM力学模型 | 第59-60页 |
| 3.3.2 压电陶瓷电学模型 | 第60-61页 |
| 3.3.3 驱动力矩的计算 | 第61-64页 |
| 3.4 FSM系统1结构模型与静力学分析 | 第64-69页 |
| 3.4.1 有限元分析简介 | 第64-65页 |
| 3.4.2 螺栓连接建模 | 第65-67页 |
| 3.4.3 结构静力学分析 | 第67-69页 |
| 3.5 动力学仿真分析 | 第69-71页 |
| 3.5.1 模态分析 | 第69-70页 |
| 3.5.2 频率响应分析 | 第70-71页 |
| 3.6 结构参数对FSM系统1的影响研究 | 第71-75页 |
| 3.7 本章小结 | 第75-78页 |
| 第4章 大口径快反镜性能测试与试验研究 | 第78-94页 |
| 4.1 引言 | 第78页 |
| 4.2 传感器特性测试 | 第78-81页 |
| 4.3 FSM系统1静态性能测试 | 第81-86页 |
| 4.3.1 偏转范围与线性度测试 | 第82-84页 |
| 4.3.2 重复定位精度测试 | 第84-86页 |
| 4.4 FSM系统1动态性能测试 | 第86-90页 |
| 4.4.1 谐振频率测试 | 第86-87页 |
| 4.4.2 伺服闭环带宽测试 | 第87-88页 |
| 4.4.3 上电稳定性测试 | 第88-89页 |
| 4.4.4 试验结果与有限元分析结果比较 | 第89-90页 |
| 4.5 环境试验测试 | 第90-93页 |
| 4.5.1 高低温贮存试验 | 第90-91页 |
| 4.5.2 力学振动试验 | 第91-93页 |
| 4.6 本章小结 | 第93-94页 |
| 第5章 位移放大机构与柔性支撑研究与优化 | 第94-112页 |
| 5.1 引言 | 第94页 |
| 5.2 杠杆式位移放大机构研究 | 第94-95页 |
| 5.3 二级杠杆式位移放大机构理论分析 | 第95-98页 |
| 5.4 二级杠杆式位移放大机构结构仿真与测试 | 第98-102页 |
| 5.4.1 杠杆式位移放大机构结构仿真 | 第98-100页 |
| 5.4.2 杠杆式位移放大机构结构测试 | 第100-102页 |
| 5.5 FSM系统2柔性铰链设计 | 第102-105页 |
| 5.6 薄板单元柔性铰链的尺寸优化 | 第105-109页 |
| 5.7 本章小结 | 第109-112页 |
| 第6章 大转角快反镜结构分离式设计与试验测试 | 第112-124页 |
| 6.1 引言 | 第112页 |
| 6.2 FSM系统2分离式结构设计 | 第112-114页 |
| 6.3 FSM2静态性能测试 | 第114-119页 |
| 6.3.1 偏转范围与线性度测试 | 第115-117页 |
| 6.3.2 重复定位精度测试 | 第117-119页 |
| 6.4 FSM2动态性能测试 | 第119-121页 |
| 6.4.1 机械谐振频率测试 | 第119-120页 |
| 6.4.2 上电稳定性测试 | 第120-121页 |
| 6.5 本章小结 | 第121-124页 |
| 第7章 快反镜面形精度改善研究与设计 | 第124-138页 |
| 7.1 引言 | 第124页 |
| 7.2 反射镜面形精度理论研究 | 第124-126页 |
| 7.3 降低反射镜与结构件对激光的吸收 | 第126-131页 |
| 7.3.1 反射镜不同镀膜方式对结构温升的影响分析 | 第126-128页 |
| 7.3.2 反射镜粘接强度分析与验证 | 第128-131页 |
| 7.4 降低相同温升下对镜面面形精度的影响 | 第131-135页 |
| 7.5 本章小结 | 第135-138页 |
| 第8章 总结与展望 | 第138-142页 |
| 8.1 论文完成工作 | 第138-139页 |
| 8.2 论文创新点 | 第139页 |
| 8.3 课题存在的不足与研究展望 | 第139-142页 |
| 参考文献 | 第142-152页 |
| 致谢 | 第152-154页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第154页 |