精密回转式合成碳膜电位器修刻精度控制方法研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 字母注释表 | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-20页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-19页 |
| 1.2.1 合成碳膜电位器 | 第13-17页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第17-18页 |
| 1.2.3 国内研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 回转式合成碳膜电位器自动修刻系统算法研究 | 第20-44页 |
| 2.1 系统功能分析 | 第20-23页 |
| 2.2 电压采集功能的实现 | 第23-25页 |
| 2.3 单向搜零算法 | 第25-29页 |
| 2.4 修刻方向的确定 | 第29-30页 |
| 2.5 自动对刀算法 | 第30-34页 |
| 2.6 修刻算法 | 第34-40页 |
| 2.6.1 目标斜率逼近法 | 第34-36页 |
| 2.6.2 修刻角度保留法 | 第36-38页 |
| 2.6.3 修刻流程 | 第38-40页 |
| 2.7 线性精度检测算法 | 第40-41页 |
| 2.8 人机交互模块 | 第41-43页 |
| 2.9 本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 修刻参数优选 | 第44-52页 |
| 3.1 概述 | 第44页 |
| 3.2 数据滤波样本的确定 | 第44-46页 |
| 3.3 搜零参数的确定 | 第46-49页 |
| 3.4 修刻参数 | 第49-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 修刻实验验证 | 第52-61页 |
| 4.1 概述 | 第52页 |
| 4.2 搜零实验 | 第52-54页 |
| 4.3 重复测量误差 | 第54-56页 |
| 4.4 自动修刻实验 | 第56-57页 |
| 4.5 线性精度检测结果 | 第57-60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 误差分析与补偿 | 第61-67页 |
| 5.1 误差分析 | 第61-63页 |
| 5.2 误差补偿 | 第63-66页 |
| 5.2.1 电压采集延时处理 | 第63-64页 |
| 5.2.2 修刻精度补偿 | 第64-65页 |
| 5.2.3 调整修刻刀姿态 | 第65页 |
| 5.2.4 径向对刀补偿 | 第65-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 全文结论 | 第67-68页 |
| 6.2 本文的创新性工作 | 第68页 |
| 6.3 工作展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 附录 | 第72-73页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
