| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 1 绪论 | 第5-13页 |
| 1.1 等离子体简介及应用 | 第5-6页 |
| 1.2 射频感性耦合等离子体 | 第6-8页 |
| 1.2.1 射频感性耦合等离子体简介 | 第6-7页 |
| 1.2.2 射频感性耦合等离子体的数值模拟方法 | 第7-8页 |
| 1.3 中性束注入系统 | 第8-9页 |
| 1.4 负氢离子源系统 | 第9-12页 |
| 1.4.1 负氢离子源系统简介 | 第9-11页 |
| 1.4.2 负氢离子源的模拟研究进展 | 第11-12页 |
| 1.5 本文的研究内容与研究意义 | 第12-13页 |
| 2 混合模型研究方法 | 第13-23页 |
| 2.1 整体模型 | 第13-18页 |
| 2.2 基于COMSOL的流体力学模型 | 第18-23页 |
| 2.2.1 COMSOL软件简介 | 第18-21页 |
| 2.2.2 流体力学模型 | 第21-23页 |
| 3 结果与讨论 | 第23-43页 |
| 3.1 源区模拟结果 | 第23-24页 |
| 3.2 扩散区模拟结果 | 第24-43页 |
| 3.2.1 气压对扩散区等离子体物理性质的影响 | 第24-30页 |
| 3.2.2 源区间距对扩散区等离子体物理性质的影响 | 第30-36页 |
| 3.2.3 源区半径对扩散区等离子体物理性质的影响 | 第36-43页 |
| 4 结论 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 发表论文 | 第49-51页 |