| 摘要 | 第2-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-23页 |
| 1.1 低温等离子体与材料处理 | 第8-10页 |
| 1.2 容性耦合等离子体源简述 | 第10-12页 |
| 1.3 电非对称效应的研究进展 | 第12-18页 |
| 1.4 电磁效应及其抑制办法 | 第18-22页 |
| 1.5 论文研究内容及安排 | 第22-23页 |
| 2 CCP放电中的流体力学模型 | 第23-29页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 流体力学模型 | 第23-25页 |
| 2.2.1 粒子数守恒方程 | 第23-24页 |
| 2.2.2 动量守恒方程 | 第24页 |
| 2.2.3 能量守恒方程 | 第24-25页 |
| 2.3 电磁场理论 | 第25-26页 |
| 2.4 边界条件 | 第26-27页 |
| 2.5 数值方法 | 第27-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 H_2等离子体放电中的电非对称效应及其影响 | 第29-51页 |
| 3.1 引言 | 第29-30页 |
| 3.2 电非对称效应 | 第30-38页 |
| 3.2.1 不连续的多谐波叠加电压波形驱动放电 | 第30-35页 |
| 3.2.2 连续的多谐波叠加电压波形驱动放电 | 第35-38页 |
| 3.3 甚高频放电中电非对称效应与电磁效应的相互作用 | 第38-43页 |
| 3.4 甚高频电非对称放电中H_2等离子体的动力学行为 | 第43-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 4 甚高频放电中,等离子体径向均匀性的研究 | 第51-70页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 不同放电参数下,等离子体径向均匀性的变化 | 第51-62页 |
| 4.2.1 不同电压幅值V_0 | 第51-56页 |
| 4.2.2 不同气压 | 第56-60页 |
| 4.2.3 不同频率 | 第60-62页 |
| 4.3 电压φ_n~(8)的比值对等离子体均匀性的影响 | 第62-68页 |
| 4.3.1 电压φ_n~(8)的值相等 | 第62-65页 |
| 4.3.2 电压φ_1~(8)/φ_n~(8)=1 | 第65-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 5 结论与展望 | 第70-73页 |
| 5.1 主要结论 | 第70-71页 |
| 5.2 研究内容创新点 | 第71-72页 |
| 5.3 不足与展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-82页 |
| 作者简介 | 第82-84页 |
