提拉法生长晶体的超低速运动控制技术研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 晶体提拉系统概述 | 第13-15页 |
| 1.2 影响晶体提拉质量的主要因素 | 第15页 |
| 1.3 超低速运动控制技术的发展及研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3.1 不依赖模型的补偿方法 | 第16-17页 |
| 1.3.2 基于模型的补偿方法 | 第17页 |
| 1.3.3 智能控制补偿方法 | 第17-18页 |
| 1.4 本文研究的主要内容和重点 | 第18-21页 |
| 第二章 提拉装置的机械结构优化设计 | 第21-27页 |
| 2.1 提拉装置结构优化总体方案设计 | 第21-23页 |
| 2.2 机械部件的选型和伺服系统的设计 | 第23-26页 |
| 2.2.1 滚珠丝杠的选型设计 | 第23-24页 |
| 2.2.2 联轴器的选型 | 第24页 |
| 2.2.3 直线滚动导轨的选型设计 | 第24页 |
| 2.2.4 伺服电机选型 | 第24-25页 |
| 2.2.5 减速机的选型 | 第25-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 伺服系统低速爬行现象分析与系统建模 | 第27-47页 |
| 3.1 伺服系统低速爬行现象分析 | 第27-33页 |
| 3.1.1 摩擦现象分析 | 第28-29页 |
| 3.1.2 摩擦模型分析 | 第29-31页 |
| 3.1.3 低速爬行现象 | 第31-33页 |
| 3.2 伺服系统建模 | 第33-45页 |
| 3.2.1 伺服系统组成环节 | 第33-34页 |
| 3.2.2 伺服系统矢量控制 | 第34-35页 |
| 3.2.3 伺服电机实际建模 | 第35-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 伺服系统低速范围控制策略研究 | 第47-59页 |
| 4.1 伺服系统低速控制概述 | 第47-48页 |
| 4.2 伺服系统低速运行非线性补偿算法研究 | 第48-56页 |
| 4.2.1 模糊控制算法 | 第48-50页 |
| 4.2.2 变增益控制算法 | 第50-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-59页 |
| 第五章 实际提拉系统低速平稳性研究 | 第59-69页 |
| 5.1 提高系统跟踪精度的研究 | 第59-61页 |
| 5.2 对系统共振点的抑制 | 第61-63页 |
| 5.2.1 数字陷波器特性 | 第61页 |
| 5.2.2 数字陷波滤波器的设计 | 第61-63页 |
| 5.3 激光晶体提拉系统的实际测试 | 第63-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第六章 总结和展望 | 第69-71页 |
| 6.1 全文总结 | 第69-70页 |
| 6.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第77-79页 |
| 作者及导师介绍 | 第79-81页 |
| 附件 | 第81-82页 |
