| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 论文研究背景和意义 | 第12-17页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.1.2 选题背景及研究意义 | 第12-17页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第17-23页 |
| 1.2.1 磁电阻传感器简介 | 第17-19页 |
| 1.2.2 磁电阻传感器的噪声研究现状 | 第19-23页 |
| 1.3 论文的主要内容和结构安排 | 第23-25页 |
| 第二章 磁隧道结传感器的工艺实现 | 第25-36页 |
| 2.1 磁隧道结多层膜生长 | 第25-28页 |
| 2.2 磁隧道结微加工工艺 | 第28-33页 |
| 2.3 磁隧道结传感器的退火工艺 | 第33-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 隧道结磁电阻测量系统设计 | 第36-44页 |
| 3.1 磁隧道结直流磁电阻测量 | 第36-38页 |
| 3.1.1 四探针法基本原理 | 第36-37页 |
| 3.1.2 直流反转测量法 | 第37-38页 |
| 3.2 磁隧道结微分电导测量 | 第38-42页 |
| 3.2.1 锁定放大器工作原理 | 第39-40页 |
| 3.2.2 微分电导测量系统设计 | 第40-42页 |
| 3.3 磁测量探针台 | 第42页 |
| 3.4 系统验证 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 磁隧道结噪声自动测试系统设计 | 第44-52页 |
| 4.1 测试系统硬件设计 | 第44-46页 |
| 4.1.1 MTJ供电电路 | 第44-45页 |
| 4.1.2 信号调理与采集电路 | 第45页 |
| 4.1.3 系统总体框架 | 第45-46页 |
| 4.2 放大器噪声抑制及评估 | 第46-49页 |
| 4.2.1 双通道相关测量方法 | 第46-47页 |
| 4.2.2 放大器噪声评估 | 第47-49页 |
| 4.3 测试系统软件设计 | 第49-50页 |
| 4.4 系统评估 | 第50-51页 |
| 4.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 磁隧道结传感器低频噪声研究 | 第52-64页 |
| 5.1 MgO磁隧道结低频噪声研究 | 第52-59页 |
| 5.1.1 磁隧道结的磁阻效应和噪声测量 | 第52-55页 |
| 5.1.2 磁隧道结低频噪声与磁场及偏流的依赖关系 | 第55-59页 |
| 5.2 典型磁传感器产品低频噪声研究 | 第59-63页 |
| 5.2.1 磁传感器磁场响应测量 | 第60-61页 |
| 5.2.2 不同工作条件下磁传感器噪声测量 | 第61-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 论文小结 | 第64-65页 |
| 6.2 研究展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-75页 |
| 作者在学习期间取得的学术成果 | 第75页 |