1064nm激光与远红外共窗口成像系统波长分离膜的研制
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 激光与红外成像系统的发展现状 | 第9-11页 |
| 1.3 激光与红外薄膜的发展现状 | 第11-12页 |
| 1.4 论文研究的主要目的和主要内容 | 第12-13页 |
| 第二章 光学薄膜理论 | 第13-19页 |
| 2.1 光学薄膜基本理论 | 第13-15页 |
| 2.1.1 单层介质膜的特性计算 | 第13-14页 |
| 2.1.2 多层介质膜的特性计算 | 第14-15页 |
| 2.2 干涉截止滤光膜设计理论 | 第15-19页 |
| 第三章 波长分离膜的设计 | 第19-28页 |
| 3.1 基底及薄膜材料的研究 | 第19-24页 |
| 3.1.1 基底及薄膜材料的选择 | 第19-20页 |
| 3.1.2 材料折射率的计算 | 第20-22页 |
| 3.1.3 材料的吸潮特性研究 | 第22-24页 |
| 3.2 波长分离膜设计方案 | 第24-28页 |
| 3.2.1 前表面膜系设计 | 第25-26页 |
| 3.2.2 后表面膜系设计 | 第26-27页 |
| 3.2.3 双面膜系设计结果 | 第27-28页 |
| 第四章 波长分离膜的制备 | 第28-35页 |
| 4.1 薄膜沉积设备简介 | 第28-29页 |
| 4.2 薄膜沉积方法研究 | 第29-30页 |
| 4.2.1 电子束蒸发 | 第29-30页 |
| 4.2.2 离子辅助沉积技术 | 第30页 |
| 4.3 薄膜厚度监控方法 | 第30-32页 |
| 4.4 波长分离膜制备过程 | 第32-35页 |
| 第五章 测试结果与分析 | 第35-41页 |
| 5.1 薄膜牢固度测试 | 第35-37页 |
| 5.2 光谱测试与分析 | 第37-41页 |
| 第六章 总结 | 第41-43页 |
| 6.1 主要工作总结 | 第41-42页 |
| 6.2 创新点说明 | 第42页 |
| 6.3 不足与展望 | 第42-43页 |
| 致谢 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-46页 |
| 硕士期间发表的成果及参与的项目 | 第46页 |
