| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 前言 | 第9页 |
| 1.2 纳米ZnO | 第9-14页 |
| 1.2.1 ZnO的基本性质 | 第10-11页 |
| 1.2.2 纳米ZnO薄膜的性质 | 第11页 |
| 1.2.3 纳米ZnO薄膜的制备 | 第11-12页 |
| 1.2.4 纳米ZnO薄膜的应用 | 第12-14页 |
| 1.3 石墨烯 | 第14-19页 |
| 1.3.1 石墨烯的基本性质 | 第14-16页 |
| 1.3.2 石墨烯的制备现状 | 第16-18页 |
| 1.3.3 石墨烯复合薄膜的研究现状 | 第18-19页 |
| 1.4 双层辉光等离子沉积技术 | 第19-20页 |
| 1.5 课题的提出及研究内容 | 第20-23页 |
| 第二章 实验部分 | 第23-27页 |
| 2.1 实验设备及原理 | 第23页 |
| 2.1.1 实验设备 | 第23页 |
| 2.1.2 实验原料 | 第23页 |
| 2.2 样品的测试与表征 | 第23-27页 |
| 第三章 双层辉光等离子沉积ZnO纳米柱状薄膜的制备及性能研究 | 第27-37页 |
| 3.1 纳米柱状ZnO薄膜的制备 | 第27-29页 |
| 3.2 双层辉光等离子沉积柱状纳米ZnO薄膜工艺优化 | 第29-34页 |
| 3.2.1 气压对薄膜生长的影响 | 第29-30页 |
| 3.2.2 氮氧比对薄膜生长的影响 | 第30-31页 |
| 3.2.3 时间对薄膜生长的影响 | 第31-33页 |
| 3.2.4 柱状纳米ZnO薄膜的优化工艺及表征 | 第33-34页 |
| 3.3 ZnO薄膜紫外响应行为 | 第34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-37页 |
| 第四章 双层辉光等离子沉积石墨烯薄膜的制备及紫外光响应行为研究 | 第37-47页 |
| 4.1 石墨烯薄膜的制备 | 第37-39页 |
| 4.2 石墨烯薄膜结构及性能表征 | 第39-40页 |
| 4.3 石墨烯薄膜紫外响应行为研究 | 第40-44页 |
| 4.3.1 石墨烯薄膜紫外响应接触角与结构研究 | 第40-42页 |
| 4.3.2 石墨烯薄膜紫外响应摩擦性能研究 | 第42-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-47页 |
| 第五章 双辉等离子沉积ZnO/石墨烯复合薄膜的制备及紫外响应行为 | 第47-59页 |
| 5.1 ZnO/石墨烯复合薄膜的制备 | 第47-49页 |
| 5.2 ZnO/石墨烯复合薄膜结构及性能分析 | 第49-54页 |
| 5.3 ZnO/石墨烯复合薄膜紫外响应行为 | 第54-56页 |
| 5.3.1 ZnO/石墨烯复合薄膜紫外响应接触角分析 | 第54-55页 |
| 5.3.2 ZnO/石墨烯复合薄膜紫外光电响应分析 | 第55-56页 |
| 5.4 Ni基石墨烯/ZnO薄膜电极光电性能分析 | 第56-57页 |
| 5.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 总结 | 第59-60页 |
| 6.2 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-69页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
