基于硅基微环谐振器（MRR）的光学滤波器设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 硅基MRR的研究现状 | 第10-14页 |
| 1.1.1 激光器领域 | 第11-12页 |
| 1.1.2 光调制器领域 | 第12-13页 |
| 1.1.3 传感器领域 | 第13-14页 |
| 1.2 本文工作 | 第14-16页 |
| 2 硅基微纳光波导理论 | 第16-26页 |
| 2.1 SOI材料与微纳光波导结构 | 第16-18页 |
| 2.2 硅基微纳光波导特性研究 | 第18-25页 |
| 2.2.1 模场特性分析 | 第18-20页 |
| 2.2.2 损耗特性分析 | 第20-25页 |
| 2.3 小结 | 第25-26页 |
| 3 MRR的基础理论 | 第26-36页 |
| 3.1 MRR的工作原理 | 第26-30页 |
| 3.1.1 MRR的传输特性 | 第26-28页 |
| 3.1.2 MRR的线性属性 | 第28页 |
| 3.1.3 MRR的几种常见结构 | 第28-30页 |
| 3.2 微环谐振器的散射矩阵模型 | 第30-32页 |
| 3.3 临界耦合、过耦合与欠耦合 | 第32-35页 |
| 3.4 小结 | 第35-36页 |
| 4 基于MRR的集成光学滤波器的设计 | 第36-43页 |
| 4.1 波导设计 | 第36-39页 |
| 4.1.1 波导厚度对传输特性的影响 | 第36-37页 |
| 4.1.2 波导模式对传输特性的影响 | 第37-39页 |
| 4.2 MRR的设计 | 第39-41页 |
| 4.2.1 MRR的半径设计 | 第39页 |
| 4.2.2 MRR耦合间距的设计 | 第39-41页 |
| 4.3 外界折射率的变化对输出光谱的影响 | 第41-42页 |
| 4.4 耦合端面设计 | 第42页 |
| 4.5 小结 | 第42-43页 |
| 5 基于MRR的集成光学滤波器的制备及测试 | 第43-53页 |
| 5.1 硅基滤波器的制作工艺 | 第43-45页 |
| 5.1.1 硅基滤波器的制作工艺流程 | 第43-44页 |
| 5.1.2 滤波器的结构参数及工艺实现 | 第44-45页 |
| 5.2 滤波器的测试与讨论 | 第45-52页 |
| 5.2.1 自由光谱区 | 第47-49页 |
| 5.2.2 光学带宽 | 第49-50页 |
| 5.2.3 品质因子 | 第50-52页 |
| 5.3 小结 | 第52-53页 |
| 结论与展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-56页 |
