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基于硅基微环谐振器(MRR)的光学滤波器设计

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
1 绪论第10-16页
    1.1 硅基MRR的研究现状第10-14页
        1.1.1 激光器领域第11-12页
        1.1.2 光调制器领域第12-13页
        1.1.3 传感器领域第13-14页
    1.2 本文工作第14-16页
2 硅基微纳光波导理论第16-26页
    2.1 SOI材料与微纳光波导结构第16-18页
    2.2 硅基微纳光波导特性研究第18-25页
        2.2.1 模场特性分析第18-20页
        2.2.2 损耗特性分析第20-25页
    2.3 小结第25-26页
3 MRR的基础理论第26-36页
    3.1 MRR的工作原理第26-30页
        3.1.1 MRR的传输特性第26-28页
        3.1.2 MRR的线性属性第28页
        3.1.3 MRR的几种常见结构第28-30页
    3.2 微环谐振器的散射矩阵模型第30-32页
    3.3 临界耦合、过耦合与欠耦合第32-35页
    3.4 小结第35-36页
4 基于MRR的集成光学滤波器的设计第36-43页
    4.1 波导设计第36-39页
        4.1.1 波导厚度对传输特性的影响第36-37页
        4.1.2 波导模式对传输特性的影响第37-39页
    4.2 MRR的设计第39-41页
        4.2.1 MRR的半径设计第39页
        4.2.2 MRR耦合间距的设计第39-41页
    4.3 外界折射率的变化对输出光谱的影响第41-42页
    4.4 耦合端面设计第42页
    4.5 小结第42-43页
5 基于MRR的集成光学滤波器的制备及测试第43-53页
    5.1 硅基滤波器的制作工艺第43-45页
        5.1.1 硅基滤波器的制作工艺流程第43-44页
        5.1.2 滤波器的结构参数及工艺实现第44-45页
    5.2 滤波器的测试与讨论第45-52页
        5.2.1 自由光谱区第47-49页
        5.2.2 光学带宽第49-50页
        5.2.3 品质因子第50-52页
    5.3 小结第52-53页
结论与展望第53-54页
致谢第54-55页
参考文献第55-56页

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