| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 铁电材料研究背景和PZT简介 | 第12-15页 |
| 1.3 PZT靶材的制备 | 第15-21页 |
| 1.3.1 高温时Pb过量的讨论 | 第16-17页 |
| 1.3.2 烧结过程中的局部相波动 | 第17-19页 |
| 1.3.3 PZT靶材的分层现象以及解决方法 | 第19-21页 |
| 1.4 本文的研究内容 | 第21-22页 |
| 参考文献 | 第22-23页 |
| 第2章 PZT薄膜常用的制备方法、衬底和表征手段 | 第23-34页 |
| 2.1 PZT薄膜常用的制备方法 | 第23-27页 |
| 2.1.1 激光脉冲法 | 第23-24页 |
| 2.1.2 溶胶-凝胶法 | 第24-25页 |
| 2.1.3 水热法 | 第25-27页 |
| 2.2 PZT薄膜常用的衬底 | 第27-28页 |
| 2.3 PZT薄膜器件常用的表征手段 | 第28-31页 |
| 2.3.1 X射线衍射仪（XRD） | 第28-29页 |
| 2.3.2 Keithley2400用于I-V测试 | 第29-30页 |
| 2.3.3 PFM-压电力显微镜 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-34页 |
| 第3章 PZT/SRO/STO薄膜器件的制备及电学测试 | 第34-48页 |
| 3.1 钌酸锶（SRO）靶材的处理及薄膜的制备 | 第34-35页 |
| 3.2 钌酸锶的电阻率测量 | 第35-37页 |
| 3.3 Pt/PZT/SRO/STO器件的电学测试 | 第37-44页 |
| 3.3.1 SRO和PZT薄膜的XRD图谱 | 第37-39页 |
| 3.3.2 Pt/PZT/SRO/STO器件的C-V测试 | 第39-40页 |
| 3.3.3 Pt/PZT/SRO/STO器件的P-V测试 | 第40-42页 |
| 3.3.4 PZT薄膜的SEM测试 | 第42-43页 |
| 3.3.5 PZT薄膜的I-V测试 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 第4章 NSTO衬底上制备PZT薄膜及电学测试 | 第48-62页 |
| 4.1 NSTO上制备PZT薄膜 | 第48-49页 |
| 4.2 NSTO上制备PZT薄膜的XRD图 | 第49-50页 |
| 4.3 Pt/PZT/NSTO结构的电学测试 | 第50-59页 |
| 4.3.1 Pt/PZT/NSTO结构的I-V测试 | 第50-52页 |
| 4.3.2 PZT薄膜的压电力显微镜（PFM）测试 | 第52-56页 |
| 4.3.3 Pt/PZT/NSTO结构的I-Vpulse测试 | 第56-57页 |
| 4.3.4 PZT薄膜器件的保持性和循环性 | 第57-58页 |
| 4.3.5 NSTO衬底上的PZT薄膜器件阻变特性的定性解释 | 第58-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 总结 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第65-66页 |
