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外延(111)钛酸钡薄膜的高密度存储特性研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-8页
第1章 绪论第11-25页
    1.1 引言第11-12页
    1.2 存储器的发展第12-17页
        1.2.1 非易失性存储器第12-15页
        1.2.2 电阻式存储器第15-17页
    1.3 薄膜的制备第17-19页
        1.3.1 常用的薄膜制备方法第17-19页
        1.3.2 脉冲激光沉积(PLD)法制备薄膜的优势第19页
    1.4 本文的主要研究内容第19-21页
    参考文献第21-25页
第2章 实验表征仪器及电学测试仪器第25-31页
    2.1 实验表征仪器第25-27页
        2.1.1 X射线衍射仪(XRD)第25-26页
        2.1.2 原子力显微镜(AFM)第26-27页
    2.2 电学测试系统第27-28页
        2.2.1 Keithley 2400仪器第27-28页
        2.2.2 Keithley 4200-SCS仪器第28页
    2.3 铁电测试仪第28-29页
    2.4 本章小结第29-30页
    参考文献第30-31页
第3章 Pt/BTO/NSTO器件的制备及其I-V特性第31-47页
    3.1 Pt/BTO/NSTO器件的制备第31-33页
        3.1.1 BTO薄膜的制备第31页
        3.1.2 BTO薄膜的XRD表征第31-32页
        3.1.3 Pt/BTO/NSTO器件的制备第32-33页
    3.2 Pt/BTO/NSTO器件的I-V测试第33-44页
        3.2.1 负微分电阻(负阻)现象第35-38页
        3.2.2 Pt/BTO/NSTO器件的可调性第38-42页
        3.2.3 器件的保持性和循环性第42-43页
        3.2.4 负阻以及可调双极性电阻开关的定性解释第43-44页
    3.3 本章小结第44-45页
    参考文献第45-47页
第4章 光照下的I-V特性以及器件的C-V、I-Vpulse、P-V测试第47-53页
    4.1 光照对Pt/BTO/NSTO器件I-V特性的影响第47页
    4.2 Pt/BTO/NSTO器件的电容-电压(C-V)测试第47-48页
    4.3 Pt/BTO/NSTO器件的电流-脉冲电压(I-Vpulse)测试第48-49页
    4.4 Pt/BTO/NSTO器件的极化强度-电压(P-V)测试第49-50页
    4.5 本章小结第50-51页
    参考文献第51-53页
总结第53-54页
致谢第54-55页
攻读学位期间发表的学术论文第55-56页

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