| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 四边固定薄膜多场耦合动力学研究 | 第18-52页 |
| 2.1 薄膜振动模型 | 第18-19页 |
| 2.2 外力分析 | 第19-22页 |
| 2.2.1 电场力 | 第19-21页 |
| 2.2.2 空气阻尼力 | 第21-22页 |
| 2.2.3 分子力 | 第22页 |
| 2.3 四边固定薄膜多场耦合振动分析 | 第22-35页 |
| 2.3.1 自由振动 | 第23-29页 |
| 2.3.2 受迫振动 | 第29-35页 |
| 2.4 结果分析 | 第35-51页 |
| 2.4.1 自由振动 | 第35-43页 |
| 2.4.2 受迫振动 | 第43-51页 |
| 2.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 第3章 对边固定对边自由薄膜多场耦合动力学研究 | 第52-86页 |
| 3.1 对边固定对边自由薄膜多场耦合振动分析 | 第52-66页 |
| 3.1.1 自由振动 | 第55-58页 |
| 3.1.2 受迫振动 | 第58-66页 |
| 3.2 结果分析 | 第66-85页 |
| 3.2.1 自由振动 | 第66-76页 |
| 3.2.2 受迫振动 | 第76-85页 |
| 3.3 本章小结 | 第85-86页 |
| 第4章 薄膜式微谐振压力传感器灵敏度分析 | 第86-100页 |
| 4.1 灵敏度分析 | 第86-95页 |
| 4.1.1 压力膜应力分析 | 第86-89页 |
| 4.1.2 灵敏度计算 | 第89-91页 |
| 4.1.3 灵敏度影响因素分析 | 第91-95页 |
| 4.2 外界压力负载对固有频率及灵敏度的影响 | 第95-99页 |
| 4.3 本章小结 | 第99-100页 |
| 第5章 薄膜式微谐振压力传感器ANSYS仿真分析 | 第100-111页 |
| 5.1 不同结构的薄膜式微谐振压力传感器有限元受力分析 | 第100-105页 |
| 5.1.1 四边固定结构 | 第100-102页 |
| 5.1.2 对边固定对边自由结构 | 第102-105页 |
| 5.2 动力学仿真 | 第105-108页 |
| 5.2.1 施加预应力 | 第105-106页 |
| 5.2.2 静力分析 | 第106-107页 |
| 5.2.3 模态分析 | 第107-108页 |
| 5.3 结果分析 | 第108-110页 |
| 5.4 本章小结 | 第110-111页 |
| 第6章 薄膜式微型谐振压力传感器研制与试验研究 | 第111-131页 |
| 6.1 谐振芯片的光刻加工 | 第111-114页 |
| 6.1.1 光刻过程及要求 | 第112-113页 |
| 6.1.2 光刻实验 | 第113-114页 |
| 6.2 硅片的湿法各向异性腐蚀 | 第114-118页 |
| 6.2.1 二氧化硅的腐蚀 | 第114-115页 |
| 6.2.2 硅的各向异性腐蚀 | 第115-116页 |
| 6.2.3 湿法腐蚀装置 | 第116-117页 |
| 6.2.4 腐蚀实验 | 第117-118页 |
| 6.3 传感器封装 | 第118-119页 |
| 6.4 薄膜式微谐振压力传感器振动测试 | 第119-130页 |
| 6.4.1 实验原理 | 第119-122页 |
| 6.4.2 不通压力时共振检测 | 第122-127页 |
| 6.4.3 压力传感器敏感特性检测 | 第127-128页 |
| 6.4.4 实验结果分析 | 第128-130页 |
| 6.5 本章小结 | 第130-131页 |
| 结论 | 第131-133页 |
| 参考文献 | 第133-137页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第137-138页 |
| 致谢 | 第138-139页 |
| 作者简介 | 第139页 |