| 摘要 | 第2-3页 |
| abstract | 第3-4页 |
| 引言 | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 薄膜晶体管的研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 薄膜晶体管的实际应用 | 第9-14页 |
| 1.2.1 薄膜晶体管在液晶显示器中的应用 | 第10-11页 |
| 1.2.2 薄膜晶体管在AMOLED显示器中的应用 | 第11-14页 |
| 1.2.3 薄膜场效应管在传感器中的应用 | 第14页 |
| 1.3 薄膜场效应管现阶段存在的问题及发展前景 | 第14-15页 |
| 1.4 本论文主要研究内容及章节安排 | 第15-17页 |
| 第二章 薄膜场效应管(TFT)的物理结构及工作原理 | 第17-23页 |
| 2.1 TFT的物理结构 | 第17页 |
| 2.2 TFT 的工作原理 | 第17-21页 |
| 2.3 TFT主要电学参数 | 第21-23页 |
| 2.3.1 阈值电压 | 第21页 |
| 2.3.2 开关比 | 第21页 |
| 2.3.3 亚阈值摆幅 | 第21页 |
| 2.3.4 载流子场效应迁移率 | 第21-22页 |
| 2.3.5 界面态密度 | 第22-23页 |
| 第三章 制备TFT所用材料及TFT制备工艺 | 第23-30页 |
| 3.1 制备TFT所用材料 | 第23-27页 |
| 3.1.1 氧化物半导体材料 | 第23-24页 |
| 3.1.2 TFT栅介电绝缘材料 | 第24-26页 |
| 3.1.3 TFT电极材料 | 第26-27页 |
| 3.1.4 TFT衬底材料 | 第27页 |
| 3.2 TFT制备工艺 | 第27-30页 |
| 3.2.1 真空沉积技术 | 第27页 |
| 3.2.2 溶胶凝胶技术 | 第27-29页 |
| 3.2.3 图案化工艺 | 第29-30页 |
| 第四章 高k氧化镱(Yb_2O_3)介电薄膜及相关TFT溶液法的制备及性能研究 | 第30-46页 |
| 4.1 氧化镱薄膜溶胶凝胶技术旋涂法的制备 | 第31页 |
| 4.1.1 氧化镱前躯体溶液的配制 | 第31页 |
| 4.1.2 氧化镱薄膜的制备 | 第31页 |
| 4.2 氧化镱薄膜的表征 | 第31-38页 |
| 4.2.1 氧化镱前躯体溶液干凝胶的热重分析 | 第31-32页 |
| 4.2.2 氧化镱薄膜材料的光学特性分析 | 第32-33页 |
| 4.2.3 氧化镱薄膜材料的结晶性分析 | 第33-34页 |
| 4.2.4 氧化镱薄膜材料表面粗糙度表征分析 | 第34-35页 |
| 4.2.5 氧化镱薄膜材料X射线光电子能谱分析 | 第35-36页 |
| 4.2.6 氧化镱薄膜材料电学性能表征 | 第36-38页 |
| 4.3 In_2O_3/Yb_2O_3TFT的旋涂法制备及性能表征和在反相器中的应用 | 第38-44页 |
| 4.3.1 氧化铟前躯体溶液的配制 | 第38页 |
| 4.3.2 In_2O_3/Yb_2O_3TFT的制备 | 第38-39页 |
| 4.3.3 In_2O_3/Yb_2O_3TFT电学性能测试 | 第39-42页 |
| 4.3.4 In_2O_3/Yb_2O_3TFT在负载式反相器中的应用 | 第42-44页 |
| 4.4 本章小结 | 第44-46页 |
| 第五章 溶液氧化还原法制备氧化铪、锌锡氧薄膜及相关TFT的性能研究 | 第46-59页 |
| 5.1 锌锡氧及氧化铪薄膜的制备 | 第46-47页 |
| 5.1.1 锌锡氧及氧化铪薄膜前驱体溶液的配制 | 第46-47页 |
| 5.2 氧化铪薄膜氧化还原法的制备及表征 | 第47-50页 |
| 5.2.1 氧化铪薄膜的制备 | 第47页 |
| 5.2.2 氧化铪前躯体凝胶的热重-差热分析 | 第47-48页 |
| 5.2.3 氧化铪薄膜透过率、结晶性及表面粗糙度表征 | 第48-49页 |
| 5.2.4 氧化铪薄膜XPS表征分析 | 第49页 |
| 5.2.5 氧化铪薄膜单位面积电容和漏电流密度表征 | 第49-50页 |
| 5.3 锌锡氧薄膜氧化还原法的制备及相关TFT的性能测试分析 | 第50-54页 |
| 5.3.1 锌锡氧薄膜及相关TFT的制备 | 第51页 |
| 5.3.2 锌锡氧TFT的电学性能测试 | 第51-54页 |
| 5.4 氧化还原法制备锌锡氧/氧化铪TFT及相关电学性能测试分析 | 第54-58页 |
| 5.4.1 使用氧化还原法的PA-ZTO/(PA-)HfO2TFT制备 | 第54-55页 |
| 5.4.2 PA-ZTO/(PA-)HfO2TFT电学性能测试 | 第55-57页 |
| 5.4.3 PA-ZTO/PA-HfO2TFT在负载式反相器中的应用 | 第57-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 工作总结及展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第67-68页 |
| 发表的论文 | 第67页 |
| 参与科研项目 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
