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纳米半导体材料制备与器件

摘要第2-3页
abstract第3页
第一章 引言第6-12页
    1.1 二维材料概述第6页
    1.2 二维材料介绍第6-8页
        1.2.1 二维材料分类第6-7页
        1.2.2 二维材料制备第7页
        1.2.3 二维材料应用第7-8页
    1.3 微纳加工方法概述第8-10页
        1.3.1 光刻技术第8-9页
        1.3.2 薄膜技术第9-10页
        1.3.3 刻蚀技术第10页
    1.4 本章小结第10-12页
第二章 改进CVD法高效制备二硫化锡纳米片第12-18页
    2.1 前言第12-13页
    2.2 实验部分第13页
        2.2.1 实验材料与仪器第13页
        2.2.2 实验步骤与方法第13页
    2.3 结果与讨论第13-17页
        2.3.1 二硫化锡单晶纳米片的形貌表征第13-15页
        2.3.2 二硫化锡纳米片的成分表征第15-16页
        2.3.3 二硫化锡的TEM检测结果和分析第16-17页
    2.4 本章小结第17-18页
第三章 二硫化锡纳米片在场效应晶体管方面的应用第18-24页
    3.1 前言第18-19页
    3.2 实验部分第19-21页
        3.2.1 实验材料与装置第19-20页
        3.2.2 实验步骤与方法第20-21页
    3.3 结果与讨论第21-23页
    3.4 本章小节第23-24页
第四章 二硫化锡纳米片应用于光探测第24-30页
    4.1 前言第24页
    4.2 实验部分第24页
    4.3 结果与讨论第24-29页
        4.3.1 二硫化锡纳米片在不同强度光照下的光响应第24-26页
        4.3.2 光检测器件的稳定性和响应速率第26-28页
        4.3.3 场效应控制光检测开关比第28-29页
    4.4 本章小节第29-30页
第五章 二硫化锡光探测器件的性能改进第30-36页
    5.1 前言第30页
    5.2 实验部分第30-31页
    5.3 结果与讨论第31-35页
    5.4 本章小节第35-36页
第六章 静电纺丝制备纳米纤维传感器第36-44页
    6.1 前言第36页
    6.2 实验部分第36-37页
    6.3 结果与讨论第37-43页
        6.3.1 PMMA/PANI应力传感器测试结果第37-39页
        6.3.2 PAN/SiC压力传感器测试结果第39-43页
    6.4 本章小节第43-44页
总结与展望第44-45页
参考文献第45-56页
攻读学位期间的研究成果第56-59页
    1.科研论文第56-58页
    2.申请专利第58-59页
致谢第59-60页

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