压电尺蠖式微驱动器的设计、控制与实验
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 压电驱动器的分类及特点 | 第13-18页 |
| 1.2.1 压电超声波驱动器 | 第13-15页 |
| 1.2.2 压电惯性驱动器 | 第15-16页 |
| 1.2.3 压电尺蠖式微驱动器 | 第16-18页 |
| 1.3 压电尺蠖式微驱动器的研究现状 | 第18-22页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 尺蠖式直线微驱动器的设计与实验 | 第24-39页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 微驱动器工作原理 | 第24-25页 |
| 2.3 微驱动器结构设计 | 第25-27页 |
| 2.3.1 箝位机构设计 | 第25-26页 |
| 2.3.2 驱动机构设计 | 第26-27页 |
| 2.3.3 微驱动器整体结构 | 第27页 |
| 2.4 微驱动器理论建模 | 第27-32页 |
| 2.4.1 箝位力计算 | 第27-28页 |
| 2.4.2 驱动支链位移放大倍数计算 | 第28-32页 |
| 2.4.3 驱动力计算 | 第32页 |
| 2.5 实验测试 | 第32-38页 |
| 2.5.1 实验系统 | 第32-34页 |
| 2.5.2 驱动支链位移放大倍数测试 | 第34-35页 |
| 2.5.3 步距测试 | 第35-36页 |
| 2.5.4 速度测试 | 第36页 |
| 2.5.5 箝位力测试 | 第36-37页 |
| 2.5.6 驱动力测试 | 第37-38页 |
| 2.6 结论 | 第38-39页 |
| 第三章 尺蠖式直线微驱动器步距预测模型 | 第39-51页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 驱动信号的优化 | 第39-45页 |
| 3.2.1 驱动信号的实验分析 | 第40-42页 |
| 3.2.2 驱动信号的理论分析 | 第42-44页 |
| 3.2.3 驱动信号的波形修正 | 第44-45页 |
| 3.3 微驱动器步距预测理论模型 | 第45-47页 |
| 3.4 实验验证 | 第47-50页 |
| 3.5 结论 | 第50-51页 |
| 第四章 尺蠖式直线微驱动器运动控制 | 第51-59页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 微驱动器分段控制系统 | 第51-53页 |
| 4.2.1 宏运动环节 | 第52页 |
| 4.2.2 微运动环节 | 第52-53页 |
| 4.3 控制系统参数的辨识及优化 | 第53-57页 |
| 4.3.1 微驱动器输出模型 | 第53-54页 |
| 4.3.2 控制系统参数的辨识及优化 | 第54-57页 |
| 4.4 实验验证 | 第57-58页 |
| 4.5 结论 | 第58-59页 |
| 第五章 尺蠖式旋转微驱动器的设计与实验 | 第59-71页 |
| 5.1 引言 | 第59-60页 |
| 5.2 微驱动器工作原理 | 第60页 |
| 5.3 微驱动器结构设计 | 第60-62页 |
| 5.3.1 箝位机构设计 | 第60-61页 |
| 5.3.2 驱动机构设计 | 第61-62页 |
| 5.3.3 微驱动器整体结构 | 第62页 |
| 5.4 微驱动器理论建模 | 第62-66页 |
| 5.4.1 箝位机构放大倍数计算 | 第62-65页 |
| 5.4.2 驱动机构驱动力矩计算 | 第65-66页 |
| 5.5 实验测试 | 第66-70页 |
| 5.5.1 箝位机构放大倍数测试 | 第67页 |
| 5.5.2 步距测试 | 第67-69页 |
| 5.5.3 转速测试 | 第69页 |
| 5.5.4 驱动力矩测试 | 第69-70页 |
| 5.6 结论 | 第70-71页 |
| 第六章 结论与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 主要工作及结论 | 第71-72页 |
| 6.2 创新点 | 第72页 |
| 6.3 研究展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 附录 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第80-81页 |
