多晶硅铸锭炉热场设计及计算机模拟
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 立题背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 多晶硅定向凝固生长方法及特点 | 第9-12页 |
| 1.2.1 浇铸法 | 第9-10页 |
| 1.2.2 电磁铸造法 | 第10页 |
| 1.2.3 布里奇曼法 | 第10-11页 |
| 1.2.4 热交换法 | 第11页 |
| 1.2.5 定向凝固系统法 | 第11-12页 |
| 1.3 多晶硅铸锭炉研究现状及发展趋势 | 第12-16页 |
| 1.3.1 多晶硅铸锭炉国外研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3.2 多晶硅铸锭炉国内研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.3 多晶硅铸锭炉国内外发展趋势 | 第15-16页 |
| 1.4 课题来源 | 第16页 |
| 1.5 本文的主要研究目标与内容 | 第16-17页 |
| 1.5.1 研究目标 | 第16页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 多晶硅铸锭炉热场的基本理论 | 第17-28页 |
| 2.1 热场的传热形式 | 第18-26页 |
| 2.1.1 传导传热 | 第18-22页 |
| 2.1.2 对流传热 | 第22-24页 |
| 2.1.3 辐射换热 | 第24-26页 |
| 2.1.4 综合传热 | 第26页 |
| 2.2 铸锭炉热场的工作原理及传热过程 | 第26-27页 |
| 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 多晶硅铸锭炉热场主要部件的设计及优化 | 第28-53页 |
| 3.1 坩埚的设计及优化 | 第29-34页 |
| 3.1.1 材料的选择 | 第29-31页 |
| 3.1.2 尺寸及形状的确定 | 第31-33页 |
| 3.1.3 尺寸的优化 | 第33-34页 |
| 3.2 加热器的设计及优化 | 第34-44页 |
| 3.2.1 材料的选择 | 第35-37页 |
| 3.2.2 结构及布置方式的分析 | 第37-41页 |
| 3.2.3 参数的设计 | 第41-42页 |
| 3.2.4 尺寸的校核及优化 | 第42-44页 |
| 3.3 隔热层的设计及优化 | 第44-51页 |
| 3.3.1 材料的选择 | 第44-46页 |
| 3.3.2 结构的确定 | 第46页 |
| 3.3.3 尺寸的设计及优化 | 第46-51页 |
| 本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 不同坩埚形状下多晶硅定向凝固热流场的模拟 | 第53-64页 |
| 4.1 模拟软件的选取 | 第53-54页 |
| 4.2 几何模型及工艺参数 | 第54-55页 |
| 4.2.1 几何模型 | 第54页 |
| 4.2.2 工艺参数 | 第54-55页 |
| 4.3 网格划分 | 第55-56页 |
| 4.4 热场的模拟分析 | 第56-58页 |
| 4.4.1 数学模型及边界条件的选取 | 第56-57页 |
| 4.4.2 热场分布 | 第57-58页 |
| 4.5 流场的模拟分析 | 第58-62页 |
| 4.5.1 数学模型及边界条件的确定 | 第58-59页 |
| 4.5.2 流场分布 | 第59-62页 |
| 本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 结论与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 结论 | 第64页 |
| 5.2 展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第70页 |
