| 摘要 | 第3-5页 |
| abstract | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第15-25页 |
| 1.1 研究背景 | 第15页 |
| 1.2 国内外研究进展 | 第15-21页 |
| 1.2.1 非光学检测方法 | 第16-18页 |
| 1.2.1.1 机械探针法 | 第16-17页 |
| 1.2.1.2 原子力显微镜(AFM) | 第17页 |
| 1.2.1.3 扫描隧道显微镜(STM) | 第17-18页 |
| 1.2.2 光学检测方法 | 第18-21页 |
| 1.2.2.1 激光共聚焦扫描显微镜 | 第18-19页 |
| 1.2.2.2 数字全息技术 | 第19页 |
| 1.2.2.3 结构光投影显微技术 | 第19-20页 |
| 1.2.2.4 白光显微干涉术 | 第20-21页 |
| 1.3 本论文的研究内容 | 第21-22页 |
| 1.4 论文结构安排 | 第22-25页 |
| 第2章 白光显微干涉技术 | 第25-37页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 白光显微干涉原理 | 第25-27页 |
| 2.3 基于白光干涉的三维形貌恢复算法 | 第27-32页 |
| 2.3.1 重心法 | 第27-28页 |
| 2.3.2 傅立叶变换算法 | 第28-29页 |
| 2.3.3 希尔伯特变换算法 | 第29页 |
| 2.3.4 小波变换算法 | 第29-30页 |
| 2.3.5 空间频域算法 | 第30-31页 |
| 2.3.6 移相法 | 第31-32页 |
| 2.4 白光显微干涉技术面临的问题和挑战 | 第32-35页 |
| 2.4.1 面临问题挑战一 | 第33-34页 |
| 2.4.2 面临问题挑战二 | 第34页 |
| 2.4.3 面临问题挑战三 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 基于白光显微干涉术的时域调制度反演算法 | 第37-61页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 宽光谱显微干涉理论模型 | 第37-39页 |
| 3.3 时域调制度反演三维形貌算法 | 第39-43页 |
| 3.3.1 时域调制度分布理论 | 第39-40页 |
| 3.3.2 时域调制度提取方法及三维形貌反演过程 | 第40-43页 |
| 3.4 时域调制度重建三维形貌结果分析 | 第43-51页 |
| 3.4.1 时域调制度提取方法及三维形貌反演过程 | 第43-46页 |
| 3.4.2 基于调制度算法的实验结果 | 第46-51页 |
| 3.5 基于时域调制度的混合干涉重建算法 | 第51-58页 |
| 3.5.1 混合干涉模拟分析 | 第52-54页 |
| 3.5.2 混合干涉法表面形貌重建实验结果 | 第54-58页 |
| 3.6 本章小结 | 第58-61页 |
| 第4章 白光显微干涉纵向相位拼接算法 | 第61-79页 |
| 4.1 引言 | 第61页 |
| 4.2 傅立叶变换法相位拼接解析 | 第61-67页 |
| 4.2.1 傅立叶变换调制度阈值判断 | 第61-64页 |
| 4.2.2 连续相位纵向拼接算法 | 第64-67页 |
| 4.3 相移法相位拼接 | 第67-68页 |
| 4.4 实验系统搭建 | 第68-72页 |
| 4.5 实验结果及数据分析 | 第72-77页 |
| 4.6 本章小结 | 第77-79页 |
| 第5章 基于介质微球的三维形貌超分辨重建技术研究 | 第79-111页 |
| 5.1 引言 | 第79-82页 |
| 5.2 介质微球聚焦仿真分析 | 第82-88页 |
| 5.3 介质微球二维超分辨成像质量增强研究 | 第88-104页 |
| 5.3.1 不同浸没深度对微球成像的影响 | 第88-99页 |
| 5.3.2 基于暗场显微模式的介质微球成像 | 第99-104页 |
| 5.4 基于介质微球的宽光谱干涉三维超分辨形貌检测 | 第104-109页 |
| 5.4.1 基于介质微球的Mirau型干涉实验系统 | 第104-106页 |
| 5.4.2 超分辨三维形貌检测实验结果及分析 | 第106-109页 |
| 5.5 本章小结 | 第109-111页 |
| 第6章 总结与展望 | 第111-115页 |
| 6.1 全文总结 | 第111-112页 |
| 6.2 论文创新点 | 第112页 |
| 6.3 论文展望 | 第112-115页 |
| 参考文献 | 第115-123页 |
| 致谢 | 第123-125页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第125-128页 |