| 第一章 绪论 | 第6-19页 |
| 1.1 面发射激光器的基本概念 | 第6-7页 |
| 1.2 垂直腔面发射激光器的发展状况 | 第7-8页 |
| 1.3 垂直腔面发射激光器的结构和特点 | 第8-11页 |
| 1.4 垂直腔面发射激光器的研究方向及应用前景 | 第11-17页 |
| 1.5 垂直腔面发射激光器研制中的关键难点 | 第17页 |
| 1.6 本论文的研究工作 | 第17-19页 |
| 第二章 垂直腔面发射激光器的理论分析及设计 | 第19-37页 |
| 2.1 垂直腔面发射激光器中高反射率反射镜的设计 | 第19-22页 |
| 2.2 垂直腔面发射激光器光腔的设计 | 第22-24页 |
| 2.3 InGaAs/GaAs垂直腔面发射激光器的总体设计 | 第24-37页 |
| 第三章 VCSEL的制备工艺研究 | 第37-48页 |
| 3.1 AlAs氧化工艺研究 | 第37-41页 |
| 3.2 湿法腐蚀工艺研究 | 第41-43页 |
| 3.3 低欧姆接触电阻工艺研究 | 第43-48页 |
| 第四章 高功率InGaAs/GaAs VCSEL的研制 | 第48-54页 |
| 4.1 外延片的生长技术和结构 | 第48-50页 |
| 4.2 N面出光的VCSEL的制作 | 第50-52页 |
| 4.3 P面出光的VCSEL的制作 | 第52页 |
| 4.4 边发射器件的制作过程 | 第52-54页 |
| 第五章 高功率InGaAs/GaAsVCSEL的测试和特性分析 | 第54-65页 |
| 5.1 VCSEL的室温工作测试 | 第54-55页 |
| 5.2 VCSEL的电、光特性分析 | 第55-59页 |
| 5.3 VCSEL的变温工作测试及分析 | 第59-63页 |
| 5.4 VCSEL的边发射激光器的测试 | 第63-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 发表的文章和参与的项目 | 第68-69页 |
| 致 谢 | 第69-70页 |
| 摘 要 | 第70-73页 |
| ABSTRACT | 第73页 |
