适用于长光栅刻制的二维超大行程气浮工作台结构设计
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| CONTENTS | 第11-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-19页 |
| 1.1 课题研究背景及意义研究意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外大行程精密工作台发展现状 | 第15-17页 |
| 1.3 本课题的来源、研究内容 | 第17-19页 |
| 1.3.1 本课题的来源 | 第17-18页 |
| 1.3.2 本课题的研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 气体润滑理论及有限元建模 | 第19-44页 |
| 2.1 气体导轨平台设计的理论基础 | 第19-25页 |
| 2.1.1 气体润滑技术简介 | 第19页 |
| 2.1.2 气体轴承的特点 | 第19-20页 |
| 2.1.3 空气静压轴承工作原理及节流器类型 | 第20-23页 |
| 2.1.4 空气静压润滑理论 | 第23-25页 |
| 2.2 静压气浮导轨分析方法的研究 | 第25-37页 |
| 2.2.1 导轨承载力的解析算法 | 第26-31页 |
| 2.2.2 导轨耗气量的解析算法 | 第31-32页 |
| 2.2.3 气浮导轨的有限元建模及分析 | 第32-37页 |
| 2.3 静压气浮导轨承载性能实验 | 第37-42页 |
| 2.3.1 电容位移传感器的标定 | 第37-39页 |
| 2.3.2 实验平台的搭建与实验方案确定 | 第39-41页 |
| 2.3.3 实验与理论分析结果对比 | 第41-42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 气浮工作台结构方案的设计 | 第44-64页 |
| 3.1 气浮平台的设计要求 | 第44-45页 |
| 3.2 气浮工作台的材料选择 | 第45-46页 |
| 3.3 气浮导轨的结构形式 | 第46-59页 |
| 3.3.1 静压气浮导轨的结构形式 | 第46-48页 |
| 3.3.2 双排节流孔间距的确定 | 第48-51页 |
| 3.3.3 结合面的结构形式 | 第51-59页 |
| 3.4 气浮工作台的结构设计 | 第59-62页 |
| 3.4.1 二维气浮工作台的设计 | 第59-61页 |
| 3.4.2 气浮工作台的结构方案 | 第61-62页 |
| 3.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 气浮工作台结构参数的确定 | 第64-98页 |
| 4.1 气膜面的流场分析 | 第64-79页 |
| 4.1.1 节流器分布对流场的影响 | 第64-68页 |
| 4.1.2 均压槽对流场的影响 | 第68-76页 |
| 4.1.3 3×3的节流孔排布形式 | 第76-79页 |
| 4.2 正交分析法确定轴承系统参数 | 第79-88页 |
| 4.2.1 节流器和均压槽尺寸的确定 | 第79-80页 |
| 4.2.2 正交分析的设计 | 第80-83页 |
| 4.2.3 正交分析的结果分析 | 第83-88页 |
| 4.3 燕尾形导轨结构参数的优选 | 第88-91页 |
| 4.4 气浮工作台的基本性能 | 第91-93页 |
| 4.4.1 Y方向气浮导轨的基本性能 | 第91-92页 |
| 4.4.2 X方向气浮导轨的基本性能 | 第92-93页 |
| 4.5 气浮工作台工艺参数的确定 | 第93-96页 |
| 4.6 本章小结 | 第96-98页 |
| 总结与展望 | 第98-100页 |
| 参考文献 | 第100-103页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第103-105页 |
| 致谢 | 第105页 |
