24对棒多晶硅还原炉进料喷嘴优化研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 文献综述 | 第9-27页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 多晶硅的分类及理化性质 | 第9-10页 |
| 1.2.1 多晶硅的分类 | 第9-10页 |
| 1.2.2 多晶硅的理化性质 | 第10页 |
| 1.3 多晶硅工业生产分类 | 第10-14页 |
| 1.3.1 改良西门子法 | 第10-11页 |
| 1.3.2 流化床法 | 第11-13页 |
| 1.3.3 硅烷热分解法 | 第13页 |
| 1.3.4 冶金法 | 第13-14页 |
| 1.4 国内外多晶硅产业的特点与差距 | 第14-18页 |
| 1.4.1 我国多晶硅产业发展特点与存在问题 | 第14-17页 |
| 1.4.2 国外多晶硅公司发展特点与优势 | 第17-18页 |
| 1.4.3 国内外多晶硅公司生产成本与竞争力对比 | 第18页 |
| 1.5 模拟计算原理 | 第18-24页 |
| 1.5.1 计算流体力学 | 第18-20页 |
| 1.5.2 有限体积法 | 第20-22页 |
| 1.5.3 流体力学基本方程组 | 第22-24页 |
| 1.6 本论文课题研究的目的和意义 | 第24页 |
| 1.7 本论文课题研究的主要工作内容 | 第24-27页 |
| 第2章 计算机模拟分析 | 第27-45页 |
| 2.1 模拟方案 | 第27-28页 |
| 2.2 还原炉简化模型 | 第28-30页 |
| 2.3 网格划分 | 第30-31页 |
| 2.4 物理模型 | 第31-34页 |
| 2.5 边界条件的设置 | 第34页 |
| 2.6 模拟结果与分析 | 第34-41页 |
| 2.6.1 不同进料喷嘴的温度场 | 第34-37页 |
| 2.6.2 不同进料喷嘴的速度场 | 第37-41页 |
| 2.7 结果与讨论 | 第41-42页 |
| 2.8 本章小结 | 第42-45页 |
| 第3章 24 对棒还原炉进料喷嘴实验 | 第45-65页 |
| 3.1 还原反应工艺原理 | 第45-46页 |
| 3.2 三氯氢硅的性质 | 第46-47页 |
| 3.2.1 三氯氢硅的物理性质 | 第46-47页 |
| 3.2.2 三氯氢硅的化学性质 | 第47页 |
| 3.3 反应装置 | 第47-49页 |
| 3.4 进料喷嘴 | 第49-58页 |
| 3.4.1 实验研究方法 | 第51-52页 |
| 3.4.2 实验数据分析 | 第52-55页 |
| 3.4.3 实验小结 | 第55-58页 |
| 3.5 优化进料喷嘴 | 第58-62页 |
| 3.5.1 实验研究方法 | 第58页 |
| 3.5.2 实验数据分析 | 第58-61页 |
| 3.5.3 实验讨论 | 第61-62页 |
| 3.6 本章小结 | 第62-65页 |
| 第4章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 4.1 论文结论 | 第65页 |
| 4.2 论文展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
