金属纳结构的红外光热特性及其应用
摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5页 |
1 绪论 | 第8-15页 |
1.1 红外辐射 | 第8-9页 |
1.2 微测辐射热计 | 第9-11页 |
1.3 纳米线 | 第11-14页 |
1.4 本课题研究意义及主要研究内容 | 第14-15页 |
2 理论基础 | 第15-21页 |
2.1 金属的色散特性 | 第15-17页 |
2.2 纳米光学天线 | 第17-18页 |
2.3 基本原理 | 第18-21页 |
3 金属纳米线的光学和热学特性仿真 | 第21-43页 |
3.1 仿真软件介绍 | 第21页 |
3.2 光学特性仿真 | 第21-32页 |
3.3 热学特性仿真 | 第32-42页 |
3.4 本章小结 | 第42-43页 |
4 金属纳米线探测器的研究 | 第43-50页 |
4.1 微桥结构 | 第43-45页 |
4.2 纳米线探测器 | 第45-47页 |
4.3 封装介质对纳米线探测器的影响 | 第47-48页 |
4.4 器件的响应时间 | 第48-49页 |
4.5 本章小结 | 第49-50页 |
5 器件制作 | 第50-61页 |
5.1 制作电极和对准标记 | 第50-55页 |
5.2 制作金属纳米线 | 第55-58页 |
5.3 后期工艺 | 第58-60页 |
5.4 本章小结 | 第60-61页 |
6 测试结果 | 第61-69页 |
6.1 铂的电学性能测试 | 第61-63页 |
6.2 响应率和比探测率的测试 | 第63-67页 |
6.3 响应时间的测试 | 第67-68页 |
6.4 本章小结 | 第68-69页 |
7 总结与展望 | 第69-71页 |
7.1 总结 | 第69-70页 |
7.2 改进意见和展望 | 第70-71页 |
致谢 | 第71-72页 |
参考文献 | 第72-76页 |
附录 攻读学位期间发表论文目录 | 第76页 |