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氧/碲化铟低维材料的气相合成及光电性能研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
1 绪论第8-16页
    1.1 引言第8页
    1.2 In族半导体纳米材料的研究现状及应用第8-11页
        1.2.1 In族半导体纳米材料的研究现状第8-10页
        1.2.2 In族纳米材料的应用第10-11页
    1.3 In族半导体纳米材料的生长机理第11-12页
        1.3.1 气-固(VS)生长机制第11页
        1.3.2 气-液-固(VLS)生长机制第11-12页
    1.4 半导体纳米材料光电响应机理与评价第12-14页
        1.4.1 半导体纳米材料光电响应机理第12-13页
        1.4.2 半导体纳米材料光电响应评价第13-14页
    1.5 本文的主要研究内容及思路第14-16页
        1.5.1 研究内容第14-15页
        1.5.2 研究思路第15-16页
2 实验平台及表征方法第16-26页
    2.1 引言第16页
    2.2 实验平台第16-23页
        2.2.1 化学气相沉积(CVD)系统第16-18页
        2.2.2 紫外光刻及镀膜技术第18-21页
        2.2.3 光电测试平台第21-23页
    2.3 材料表征方法第23-24页
        2.3.1 扫描电子显微镜(SEM)第23页
        2.3.2 X-射线衍射仪(XRD)第23-24页
        2.3.3 透射电子显微镜(TEM)第24页
        2.3.4 激光共焦拉曼光谱仪(Raman)第24页
    2.4 本章小结第24-26页
3 氧化铟纳米材料的气相合成及其光电性能第26-43页
    3.1 引言第26页
    3.2 实验部分第26-28页
        3.2.1 实验药品第26-27页
        3.2.2 气相法合成氧化铟纳米材料第27-28页
    3.3 实验结果与分析第28-41页
        3.3.1 氧化铟纳米材料的表征第28-37页
        3.3.2 氧化铟纳米材料生长机理分析第37页
        3.3.3 氧化铟纳米材料的光电性能第37-41页
    3.4 本章小结第41-43页
4 碲化铟纳米材料的气相合成能第43-58页
    4.1 引言第43-44页
    4.2 实验部分第44-46页
        4.2.1 单元前驱体合成碲化铟纳米材料第44-45页
        4.2.2 多元前驱体合成碲化铟纳米材料第45-46页
    4.3 实验结果与分析第46-57页
        4.3.1 碲化铟纳米材料的表征第46-56页
        4.3.2 碲化铟纳米材料生长机理分析第56-57页
    4.4 本章小结第57-58页
5 全文总结与展望第58-60页
    5.1 全文总结第58页
    5.2 工作展望第58-60页
致谢第60-61页
参考文献第61-66页

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