| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 微机电系统及其应用 | 第12-13页 |
| 1.2 微细高能束加工技术 | 第13-15页 |
| 1.2.1 光学曝光技术 | 第13页 |
| 1.2.2 电子束曝光技术 | 第13页 |
| 1.2.3 聚焦离子束加工技术 | 第13-14页 |
| 1.2.4 激光微细加工技术 | 第14-15页 |
| 1.3 微细电沉积技术 | 第15-18页 |
| 1.3.1 微细电铸技术 | 第15-16页 |
| 1.3.2 喷射电沉积技术 | 第16页 |
| 1.3.3 局部电沉积技术 | 第16-18页 |
| 1.4 激光强化电沉积技术 | 第18-22页 |
| 1.4.1 国外研究现状 | 第18-20页 |
| 1.4.2 国内研究现状 | 第20-22页 |
| 1.5 课题的来源、意义及主要内容 | 第22-24页 |
| 1.5.1 课题的来源及意义 | 第22页 |
| 1.5.2 本文研究的主要内容 | 第22-24页 |
| 第二章 激光辐照冲击效应下的局部电沉积加工机理 | 第24-42页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 电化学沉积的基础理论 | 第24-29页 |
| 2.2.1 液相传质 | 第25-27页 |
| 2.2.2 电子转移 | 第27-28页 |
| 2.2.3 金属电结晶 | 第28-29页 |
| 2.3 激光辐照冲击效应 | 第29-33页 |
| 2.3.1 等离子体冲击 | 第29-31页 |
| 2.3.2 空泡脉动冲击及溃灭射流冲击 | 第31-33页 |
| 2.4 激光强化电化学沉积机理 | 第33-38页 |
| 2.4.1 力冲击效应对电极电位的影响 | 第33-34页 |
| 2.4.2 力冲击效应对液相传质的影响 | 第34-36页 |
| 2.4.3 热作用对电沉积的影响 | 第36-38页 |
| 2.5 辐照冲击效应的模拟研究 | 第38-40页 |
| 2.6 本章小结 | 第40-42页 |
| 第三章 激光辐照冲击效应下的局部电沉积试验系统及过程检测 | 第42-56页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 激光辐照冲击效应下的局部电沉积加工试验系统 | 第42-51页 |
| 3.2.1 激光辐照冲击系统 | 第43-44页 |
| 3.2.2 电化学沉积系统 | 第44-46页 |
| 3.2.3 运动控制系统 | 第46-48页 |
| 3.2.4 过程检测系统 | 第48-50页 |
| 3.2.5 测试仪器及装置 | 第50-51页 |
| 3.3 力冲击效应检测 | 第51-55页 |
| 3.3.1 测试原理 | 第52-53页 |
| 3.3.2 检测结果 | 第53-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 激光辐照冲击效应下的局部电化学沉积试验研究 | 第56-71页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 激光辐照局部电沉积定域性研究 | 第56-63页 |
| 4.2.1 电源参数试验研究 | 第56-59页 |
| 4.2.2 圆环状沉积体试验方法 | 第59-60页 |
| 4.2.3 加工电流对定域性的影响 | 第60-61页 |
| 4.2.4 单脉冲能量对定域性的影响 | 第61-63页 |
| 4.3 激光辐照冲击效应对沉积质量的影响 | 第63-69页 |
| 4.3.1 冲击效应对晶粒的影响 | 第63-65页 |
| 4.3.2 冲击效应对表面形貌的影响 | 第65-66页 |
| 4.3.3 冲击效应对硬度的影响 | 第66-68页 |
| 4.3.4 冲击效应对沉积速率的影响 | 第68-69页 |
| 4.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 论文总结 | 第71-72页 |
| 5.2 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第79页 |
